基于柔性衬底的三维生物刺激微电极阵列研究.pdfVIP

134 传感器与微系统 (TransducerandMicrosystemTechnologies) 2010年第29卷第5期 ?＼ 前沿技术 {I 、 基于柔性衬底的三维生物刺激微电极阵列研究 周 然，陈 迪，黄 闯，陈 翔，刘景全，朱 军 (上海交通大学微米／纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室。上海200240) 摘 要：设计了一种基于聚酰亚胺薄膜的三维生物刺激微电极阵列，用于植入式人造视网膜应用。采用 非硅MEMS技术，在柔性衬底上制备出具有生物相容性和化学稳定性，电极高度为80m的生物刺激电极 阵列，通过PDMS牺牲层实现器件从基底的完整释放。实验中器件以聚酰亚胺和PDMS封装 ，电极柱和焊 盘均镀金 ，从而提高电极的生物相容性。采用三电极法对微电极进行了电化学性能测试 ，在 1O一～lOHz 频率范围内，其阻抗为1．5—0．3kft。制造出的器件尺寸小，质量轻，可靠性高，机械柔性好，符合生物电刺 激要求。 关键词：生物电极；视觉假体；MEMS技术 中图分类号：TN405；TP212．3 文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2010)05--0134--03 Studyon3D bio-stimulatingmicroelectrodearray bbaasseeddOonnffllqe~xxiiblleeSsBubbssttrraattee ZHOU Ran，CHENDi，HUANGChuang，CHEN Xiang，LIU Jing—quan，ZHU Jun (NationalKeyLaboratoryofMicro／nanoFab~cafionTechnology，KeyLaboratoryofThinFilmand MicrotechnologyofMinistry ofEducation，ShanghaiJiaoTongUniversity，Shnaghai200240，China) Abstract：A novel3D bio-stimulating microelectrode array was designed based on polyimide thin film for implantableartificialretina．Non．siliconMEMStechniquewasappliedOfabricatetheflexiblemieroelectrodewith theheightof80Ixm．whichisalsobio．compatibleandchemicalstable．Themieroeleetrodewasthenreleasedfrom substratebyPDMSsacrificiallayerprocessandpackagedbypolyimideandPDMS．AuWas eletroplatedonhte Surfaceofelectrodesnad pads to obtain bio—compatibility．nle electrochemicalpropertiesofelectrodesWas detectedbythree．electrodemethod．andtheimpedna cevariedattherangeof1．5—0．3kflandathtefrequency 10一 ~10 Hz．Withtheadvantagesofsmallsize，lightweight，highrelibailityandflexibility，thedeviceissuitba le forbio．stimulation． ． Keywords：bio—electrode；visualprosthesis；MEMStechnique 0 引 言 能够进入神经纤维层L2。 视网膜变性疾病