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基于集总热容法的薄膜热电偶动态特性研究
第27卷 第 12期 传 感 技 术 学 报 Vo1．27 No．12
2014年 12月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS Dec．2014
StudyofTFTCDynamicCharacterBasedonLumpedCapacitanceMethod
WANGXiaona， Fangzhou，YANGSuijun，QIManyu，YEShuliang
(InstituteofIndustryandTradeMeasurementTechnology，ChinaJiliangUniversity，Hangzhou310018，China)
Abstract：Inordertoanalyzedynamiccharacterofthin—film thermocouple(TFTC)underdifferentheattransfer
boundaryconditions，azerodimensionalheattransfermodelisestablishedonTFTC transienttemperaturemeasure。
mentprocess．Thelumpedcapacitancemethodisusedtoanalyzethin—film thermocouple’sheattransferprocessHB-
derconvectiveheattransferandradiativeheattransferboundaryconditions．TFTCdynamiccharactertheoreticalpa—
rameteriscalculatedbytheestablishmentoftheenergybalanceonthesurfaceofhotjunction．Waterbathstep
methodandlaserpulsemethodareusedfordynamiccalibrationonCO1一Kthermocouple，theexperimentaldynamic
characterparameterofthesensorisobtainedbyZ—ttransform onthedynamicresponsecurve．Theexperimentre—
suitsshow thatthelumpedheatcapacitymethodcanbeusedcorrectlytoanalyzethedynamiccharacterofthin-film
thermocouple．Thethin—film thermocoupletimeconstantunderdifferentboundary conditionsissimpletocalculate．
Thetheoreticaltimeconstantisclosetotheexperimenta1．
Key words：thin—film thermocouple；dynamic character；zero dimensionalheat transfer model；the lumped
capacitancemethod；dynamiccharactercalibration
EEACC：7230 doi：10．3969／j．issn．1004-1699．2014．12．008
基于集总热容法 的薄膜热电偶动态特性研究木
王晓娜，于方舟，杨遂军，祁漫宇，叶树亮
(中国计量学院工业与商贸计量技术研究所 ，杭州 310018)
摘 要 ：为了分析不同边界传热条件下薄膜热电偶的动态特性，对薄膜热电偶瞬态测温过程建立零维传热模型。运用集总
热容法分析对流换热、辐射换热两种边界条件下薄膜热电偶传热过程，通过建立热结点表面能量平衡关系得到传感器动态特
性理论参数。采用水浴阶跃法、激光脉冲法对CO1一K型薄膜热电偶进行动态标定实验，通过对动态响应曲线进行Z-t变换得
到薄膜热电偶动态特性实验参数。实验结果表明，集总热容法能够正确分析薄膜热电偶的动态特性，且计算不同边界条件下
薄膜热电偶时间常数过程简单，时问常数理论值接近实验值。
关键词 ：薄膜热电偶；动态特性；零维非稳态传热模型；集总热容法；动态标定
中图分类号：TP274
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