LCDITO自动检测系统设计.pdfVIP

自动化 LCD ITO 自动检测系统设计 朱飞虎 (深圳市泰格 自动化技术有限公司， 广东深圳 518114) 生产 中ITO工艺的 自动检测系统 的设计 ．系统采用机器视觉技术 通过特殊光学设计和线阵相机 以获取清晰 理软件对 ITO各类缺陷进行 自动检测 ．最后输 出检测结果 。 关键词 ：机器视觉 ；LCD；IT0；线阵相机 ；图像处理 ；检测系统 中图分类号：TP242．62 文献标识码 ：A 文章编号：1009—9492 (2011)0l一0038-03 1前言 液晶种类一般有 TN—LCD、STN—LCD和TFI一LCD等 ， 但其生产过程比较复杂，工艺流程大致类似 ，主要包含清 随着 业生产 的迅速发展 ，如何快速有效进行生产检 测越来越受到重视 ，而以往的人海战术 因人工成本 的猛增 洗干燥 、光刻、取向排列 、制盒、切割灌注、检测等 。而 而不再受到青 睐 ．因此新兴检测技术如机器视觉则得到推 其 中最重要最容易出问题的是光刻工艺 ．其主要是按照产 广。所谓机器视觉 ，就是给机器 以视觉功能 以代替人眼来 品的设计要求 ，在导电玻璃上涂覆光刻胶并进行曝光 ，利 进行分析与判别 ，即通过T业相机将被检测物体表面信息 用光刻胶的保护作用 ，对导电玻璃上 的 ITO (Indium Tin Oxides)导 电层进行选择性化学腐蚀 ，从而得到所需要的 转换为 像信号，南网像处理系统进行处理 ，提取所需要 图形 在光刻完成之后 ．需要对得到的罔形进行检测 ，以 的检测特征如面积 、位置 、长度 、角度 、数量、颜色等 检查是否有 断路 、短路 、缺损 、凸起 、针孔 、毛边 、线距 等 ，再和预设的判别依据 比较 ，从而输出相应判别数据或 或线宽过窄等缺陷，以防止不 良品流到下T序 ，从而降低 结果。机器视觉技术 自诞生 以来 ，就被应用在工业 自动化 控制 中．以其非接触性 、高速高精度和稳定性 、高柔性 、 LCD 良率 ，造成很大生产报废成本。国内一般采用人T通 过放大镜检测．劳动强度很大 ，存在很 多漏检现象 ，检测 长效性以及高性价比等特点 ．成为一种优秀 的检测技术 。 在国外，机器视觉检测技术 已经得到较广泛的应用 ，但是 效率非常低 。检测效果非常不理想 ，急需导入 自动检测设 在国内，目前应_}【j还不多 。本文就机器视觉在 LCD生产 中 备 。 和液 晶行业其它主要技术一样 ，ITO自动检测技术也 ITO 自动检测系统的设计 ．加 以详细说明．以期机器视觉 基本掌握在韩 国、 日本和以色列等 国公司手里。而 目前 技术能在 国内各T业检测方面得到更加广泛 的应用 。 LCD在国内正处于大发展 阶段 ，因此进行 IT0 自动检测系 2LCD和 ITO生产工艺 统研发 ．打破技术垄断．具有很好的经济价值和必要性 。 液品是一种介于固态和液态之 间的物 质 ．是具有规则 性分子排列的有机化合物 ，如果加热会呈现透 明状的液体 3系统技术方案简述 状态 ，冷却则会出现结晶颗粒的混浊 同体状态。液晶显示