第3章 常用传感器的工作原理精要.ppt

第3章 常用传感器的工作原理 ;3.1 电阻式传感器;3.2 电容式传感器;3.3 电感式传感器;3.4 电涡流式传感器;3.5 压电式传感器;3.6 磁电式传感器;3.7 热电式传感器;3.8 光电式传感器;3.9 霍尔式传感器;3.10 光纤传感器;3.11 超声波传感器;3.12 微波传感器;3.13 红外传感器;3.14 核辐射传感器;3.15 化学传感器;3.16 数字式传感器;3.17 生物传感器;3.18 智能式传感器;3.19 微型传感器;3.20 模糊传感器;3.21 网络传感器;3.1 电阻式传感器 电阻式传感器是一种把被测参量转换为电阻变化的传感器，是目前在非电量检测技术中应用最广、最成熟和最重要的传感器之一，常用的电阻式传感器有电位器式、电阻应变式、热敏效应式等类型的电阻传感器。 应变式电阻传感器是一种利用电阻应变效应，由电阻应变片和弹性敏感元件组合起来的传感器。将应变片粘贴在各种弹性敏感元件（如弹性圆柱、悬臂梁??扭转圆柱、圆形平膜片、弹簧管、波纹管、薄壁圆筒）上，当弹性敏感元件感受到外力、位移、加速度等参数的作用，弹性敏感元件产生应变，再通过粘贴在上面的电阻应变片将其转换成电阻的变化。;通常，它主要是由敏感元件、基底、引线和覆盖层等组成。其核心元件是电阻应变片（敏感元件），它主要作用是敏感元件实现应变—电阻的变换。根据敏感元件材料与结构的不同，应变片可分为，金属电阻应变片和半导体式应变片。 ;3.1.1 金属电阻应变片 （1）基本结构 金属电阻应变片的基本结构如图3.1所示。它由盖层、敏感栅、基底及引线四部分组成。 图3.1 应变式电阻传感器的结构原理示意图 1—敏感栅 2—基底 3—引线 4—盖层 5—黏合剂;敏感栅可由金属丝、金属箔制成，它是转换元件，被粘贴在基底上。 用黏合剂粘贴在传感器弹性元件或试件上的应变片通过基底把应变传递到敏感栅上，同时基底起绝缘作用。 盖层起绝缘保护作用。 焊接于敏感栅两端引线连接测量导线之用。 ; 目前，常用的金属电阻应变片主要有：金属丝式应变片、箔式应变片、及金属薄膜应变片等结构形式。 　　金属丝式应变片的敏感栅由金属丝绕制而成。金属丝材料为电阻率大而电阻温度系数小的材料。丝式应变片的规格一般以使用面积（L×b）和敏感栅的电阻值来表示。阻值一般在50—1000Ω范围内，常用的为120Ω。 　　箔式应变片是利用光刻、腐蚀等工艺制成的一种很薄的金属薄栅，厚度在0.003-0.010mm。其优点是表面积与截面积之比大，散热条件好，允许通过电流较大，可制成各种需要的形状，便于大批量生产。 ;　　金属薄膜应变片是采用真空溅射或真空沉积的方法制成，它将可产生形变的金属或合金直接沉积在弹性元件上而不用粘合剂。这样应变片的性能更好，灵敏度高。所谓薄膜指厚度在0.1μm以下的金属膜。厚度在25μm左右的称厚膜箔式应变片即属厚膜。 （2）金属电阻应变片的工作原理 金属电阻应变片的工作原理是利用金属材料的电阻定律。当应变片的结构尺寸发生变化时，其电阻也发生相应的变化。下面介绍应变片电阻变化与应变的关系。 ; 金属导体的电阻为 （3.1） 式中： ——为金属导线电阻率（ ）； l——金属丝长（m）； A——金属丝的横截面积（ ， ）； d——金属丝直径（m）。 如果对电阻丝长度作用均匀应力，则导线电阻的相对变化： （3.2） 式中： 材料的轴向应变，令 为金属丝径向应变，常用单位 （ ） ;根据材料力学的知识，在弹性范围内，金属丝受拉力，沿轴向伸长时，沿径向缩短，则轴向应变和径向应变的关系为： 式中： ——为金属材料的泊松系数。 ; 根据此关系 ，故