工艺异常及常规解决办法.ppt

制绒段常见异常及常规解决方法 制绒小组 2009.11.12 制绒不良树状结构图 片源异常及解决方法 1、指纹及划痕 片源异常及解决方法 更多照片： 片源异常及解决方法 2、脱胶不良 片源异常及解决方法 片源异常及解决方法 3、切割后未及时清洗，清洗剂残留（清洗不良，硅片表面油污未得以完全去除） 片源异常及解决方法 片源异常及解决方法 4、线痕 线痕片大幅存在，线痕片存在的隐患为：深线痕可能导致更高碎片率，多线线痕可能影响外观并对效率有轻微影响。 线痕表现形式：线痕可从外观直接看出，一般为一根或数根直且细的沟壑（缺照片）。 对单晶而言，线痕分为单线线痕及多线线痕，单线线痕一般因切割断线引起，多线线痕一般为切割浆料异常引起（如回收液的大量使用）。 对多晶而言，线痕除上述单线线痕及多线线痕外，还存在一种与单线线痕类似的硬点线痕，硬点线痕产生的方式为多晶铸锭过程，涂层破损或其他因素引起碳原子扩散进入硅熔体而形成局部碳化硅杂质，碳化硅的存在导致硅片切割时产生断线，引起硬点线痕。 对于线痕片，其引起的影响相对较小，但由于其更属于隐性干扰，难以估量。因此，在制绒段发现线痕片时，除非有质量部门的明确标识：线痕片，让步接收，才可正常进行统一生产。否则，在有线痕片存在时，一律先搁置一