微电子学B10-深亚微米技术介绍.doc.doc

上 海 建 桥 学 院 教 学 进 度 安 排 表 2013～学年第学期 周次 星期 课 程 内 容 授课方式 上课地点 作业布置 章 节 内 容 9-2 1/一 1 　 绪言 讲课 1308 　 9-4 1/三 2 　 深次微米硅制造环境要求 讲课 1363 　 　 　 1 制造环境与成品率关系 讲课 1363 　 　 　 2 洁净室.技术指标 讲课 1363 　 　 　 3 超纯水.质量指标 讲课 1363 　 9-9 2/一 3 4 超纯化学试剂与气体﹑指标 讲课 1308 8 　 　 5 晶片传输系统 讲课 1308 　 　 　 6 ULSZ用的硅片质量 讲课 1308 　 9-11 2/三 　 　 低K材料 讲课 1363 　 　 　 1 RC延迟﹑ULSI中低K材料意义 讲课 1363 　 　 　 2 电极化形式﹑对低K材料要求 讲课 1363 　 9-16 3/一 　 3 用于ULSI的低K材料 讲课 1308 　 　 　 4 PMD 讲课 1308 　 　 　 5 含SIO2介质 讲课 1308 　 9-18 3/三 　 6 其他低K介质 讲课 1363 8 　 　 7 有机低K介质 讲课 1363 　 9-23 4/一 4 　 栅（闸）极技术 讲课 1308