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- 2017-05-11 发布于河南
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基于无线传感器网络的芯片生产环境监测系统
第26卷 第 10期 传 感 技 术 学 报 V01.26 No.10
20l3年 10月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS 0ct.2013
ChipFabM onitoringSystem BasedonW irelessSensorNetworks
TIAN Yong ,TANG Zhenan ,YU Yah
(1.DalianUniversityofTechnology,SchoolofElectronicScienceandTechnology,DalianLiaoning116024,China;
2.DalianNeta~0/}UniversityofInformation,DepartmentofElectronicEngineering,DalianLiaoning116024,China)
Abstract:Forthe stringentrequirementsofchip manufacturersaboutthe environmenttemperature,humidity,
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