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高分辨电子显微术 一、基本概念 球差、欠焦量、单色光、 相位体、振幅衬度、阿贝成像原理 球差 在电磁透镜的磁场中，远轴区比近轴区对电子的折射能力大，因而由同一物点散射的电子经过透镜后不交在一点上而是在象平面上变成了一个漫散圆斑。把这种现象称为球差。 ? 由球差造成的散焦斑半径Δrs为： ? Δrs＝CSα3 CS－球差半径 α－孔径半角 球差对相位的影响：见后面? 由于球差的存在会导致电子波汇聚于不同的焦平面上，引进相位差。 2.欠焦量对相位的影响 物镜散焦以后，实际的焦面从后焦面下移到欠焦位置，由于欠焦导致的相位差为： ? 3.单色波 具有一定波长的波，即具有同样能量的波称为单色波。可将电镜中的入射电子束当作单色波。但是，严格地说具有1－2eV地能量变化。 于是在荧光屏上将会看到B晶粒较暗而晶粒较亮。若以未发生衍射的A晶粒象亮度IA作为图象的背景强度， 则B晶粒的象衬度为： 上述在同一入射束照射下，由于样品相邻区域位向或结构不同，以致衍射束（或透射束，二者强度互补）强度不同而造成图象亮度差别（衬度），称为衍衬效应。它可显示单相合金晶粒的形貌，或多相合金中不同相的分布状况，以及晶体内部的结构缺陷等。 ? 3.相位衬度 当透射束和至少一束衍射束同时通过物镜光阑参与成象时，由于透射束和衍射束的相位干涉形成一种反映晶体点阵周期的条纹象和结构象，这种象衬的形成是透射束和衍射束相位相干的结果，故称相位衬度。 如果只有相位的变化而振幅几乎无变化时是显示不出衬度的。因为银光屏或照相底版只能反映电子能量和电子密度的差异，不能对电子相位有任何反映。因此只有将相位的不同转化为振幅的不同或者是强度的不同才能显示出衬度来，可望在物镜具有一定失焦量、球差以及适当光圈尺寸的综合处理条件下就得衬度。 三、高分辨电子显微象的形成 高分辨电子显微象的形成，大致可以分为三个过程： l???????? 入射电子在物质内的散射 l???????? 通过物镜后在背焦面上形成衍射波 l???????? 在象平面上形成电子显微象 入射电子在物质内的散射 通过物镜后在背焦面上形成衍射波 物镜对试样下表面的透镜波A（x,y）进行傅立叶变换得到后焦面上的衍射波函数（衍射谱）G（h,k） 记作：F｛A（x，y）｝＝G（h，k）＝G（ ） 这是一个从正空间转换为倒空间的过程，也是一个傅立叶转换的过程，倒空间也可以称为傅立叶空间。正空间的透射函数转换到后焦面的衍射谱。正空间位置矢量 是长度的因次 ，坐标（x、y）具有方向分量的含义，而与频率相联系的 和坐标（h、k）是倒易矢和二维倒易矢的分量，它们具有长度倒数的量纲。如果（考虑到电子束振幅的吸收衰减下表面的透射波函数表达式中还应引入一个衰减因子exp{ix( )}） 物镜球差（cs）和失焦量（△f）的影响 考虑球差和失焦量的影响，衍射波函数G（h、k）还要乘上一个修正项即“衬度传递函数”又称相位衬度传递函数，表示物镜引起的电子相位变化。 exp［iX（ ）］记作‘CTF’ 3、在相平面上形成电子显微象 物面波A（x、y）经过物镜后变成后焦面处的衍射波。 G（h、k）＝G（ ）=F｛A（x、y）｝＝ 考虑到物镜球差CS和离焦量（△f）的影响，衍射波函数G（h、k）还需要上 一个修正项“衬度传递函数”exp［ix（ ）］记作“CTF”有时简称“传递函数” G（h、k）＝F｛A（x、y）·exp［ix（ ）］＝［δ（h、k）＋iσφ（h、k） ＋M（h、k）］·exp［ix（ ）］ 通过设在物镜后焦面处的物镜光阑选取包括透镜束在内的若干衍射束，让它们通过光阑发生相干，进行物象重构，也就是以衍射波G（h、k）为次波源，再进行一次傅立叶变换，变得到物镜象平面上的相面波B（x、y） B（X、y）＝F｛G（h、k）｝ 象平面上强度（衬度）分布函数是B（x、y）与其共轭的乘积 I（x、y）＝B（x、y）·B*（x、y） 高分辨成像，对极薄晶体，不考虑吸收，则有 ? I（x、y）＝1－2σφ（x、y） FsinX 式中：σ=－相位作用函数 φ（x、y）－试样中势场在Z方向投影 －卷积符号 F －傅立叶变换符号 sinX－倒空间中倒易矢量的函数 上式所描述的衬度与晶体势场函数的投影成线性关系，因而图像接近真实地反映了样品地结构，光阑所围衍射束越多