硅切割废砂浆制备硅溶胶及回收碳化硅的工艺研究.pdfVIP

第 43卷第 5期 应 用 化 工 Vo1．43No．5 2014年5月 AppliedChemicalIndustry Mav2014 硅切割废砂浆制备硅溶胶及 回收碳化硅 的工艺研究 王娟，彭倩，丁玉强， (江南大学 化学与材料]：程学院，江苏 无锡 214112) 摘 要：以硅切割废砂浆中硅粉为来源 ，制备较高浓度硅溶胶，并回收得到高纯度碳化硅。结果表明，制备硅溶胶 的最佳实验条件为：反应温度90℃，硅粉活化时间5min，反应时间1h，废油砂：蒸馏水：碱=10：30：0．6(质量比)。 关键词：硅片切割液 ；成分分析；正交实验；硅溶胶；碳化硅 中图分类号：TQ127．2 文献标识码 ：A 文章编号：t671—3206(2014)05—0827—04 Studyonthepreparationprocessofsilicasolandtherecylingof silicon carbidebycuttingsilicon crystal WANGJuan．PENGQian。DING 一qiang (SchoolofChemistryandMaterialEngineering，JiangnanUniversity，Wuxi214112，China) Abstract：Siliconpowderin cuttingwastemortarsiliconassourcethehigh concentration silicasolwas prepared．Andrecoveredthehighpuritysiliconcarbide．Theresultshowsthattheoptimum conditionob— tainedasfollows：thereactiontemperatureis90oC，theactivationtimeofsiliconpowderis5min，there- actiontimeis1h，themassratioofthewasteresidue，waterandsodium hydroxideis10：30：0．6． Keywords：drainedslurry；componentanalysis；orthogonalexperiment；silicagel；siliconcarbide 在集成电路和太阳能电池基板的薄片状产品的 条件，实现了在低成本及高效率的要求下，回收高纯 制造业中，对高纯度的单晶硅和多晶硅棒进行线性 度的碳化硅粉末 ，也制备了较高浓度的硅溶胶，为工 切割过程中，会产生大量的废砂浆。 目前硅切割废 业化回收废油砂提供了可靠依据，并有效地降低碱 砂浆的回收方法 中，大多以回收聚乙二醇为主 ， 和机械投入成本 ，使得操作简单和生产绿色化。 因而导致大量固体排 出，这不仅对环境造成了严重 l 实验部分 的污染，也造成了资源的大量浪费。近年来也有相 1．1 试剂与仪器 关专利报道了废油砂中碳化硅与硅粉的回收 剖，主 硫酸、盐酸、氢氧化钠、草酸、六水硫酸亚铁铵、 要依靠物理方法，实现废砂浆中碳化硅粉和硅粉的 邻菲罗啉、盐酸羟胺、醋酸钠、醋酸、氢氟酸、四水合 回收，但该工艺对高纯硅回收技术不够成熟；对设备 钼酸铵均为分析纯；某公司硅切割废砂浆回收PEG 要求高、能耗大、不够经济合理；生产中没有准确的 后的废油砂 (主要成分有聚乙二醇、水、碳化硅、硅 废砂浆成分分析方法，导致