西门子法生产多晶硅还原过程节能降耗的模拟优化.pdfVIP

第 42卷 第 7期 化 学 工 程 Vo1．42No．7 2014年 7月 CHEMICALENGINEERING(CHINA) Ju1．2014 西门子法生产多晶硅还原过程节能降耗的模拟优化 梁志武，陶升东，符开云，张 瑞 (湖南大学 化学化工学院，湖南 长沙 410082) 摘要：利用吉布斯 自由能最小原理，在AspenPlus的Gibbs反应器模块中对传统西门子法还原过程进行模拟分析。 考察了主要操作参数对多晶硅和副产物的转化率及能耗的影响。经过工艺参数优化，得到压力为 100kPa，氢气与 三氯氢硅摩尔比为3／1时，多晶硅产率为4_4％，能耗为0．0185GJ／kg。同时模拟了在传统工艺的进料中加入二氯 二氢硅，得到在 100kPa下，：二氯二氢硅、三氯氢硅和氢气摩尔比为 1：1：5时，与传统工艺相 比多晶硅产率提高 9．5％，四氯化硅产率降低8．5％，能耗降低33％，节约氢气 16．7％。 关键词：西门子法；多晶硅还原；节能降耗 ；优化；AspenPlus 中图分类号．TQ110．6 文献标识码 ：A 文章编号：1005-9954(2014)07-0001-05 DoI：10．3969／j．issn．1005-9954．2014．07．001 Simulationoptimizationofenergysavinginp0lycrystaUinesilicon reductionprocessbySiemensmethod LIANG Zhi-WU，TAO Sheng-dong，FU Kai-yun，ZHANG Rui (CollegeofChemistryandChemicalEngineering，HunanUniversity，Changsha410082， HunanProvince，China) Abstract：ThesimulationsofSiemensprocesswereperformed in theGibbsreactormoduleofAspenPlussoftware basedon theGibbsprincipleofminimum freeenergy．The effectsofseveralkey operational parameterson the equilibrium yieldsofpolycrystallinesiliconandotherby-productsaswellastheeneryg consumptionofprocesswere comprehensivelysimulatedanddiscussed．Byvirtueoftheoptimizationofprocessparameters，thesimulationresults indicatethatthebestoperationalconditionsofpressureandthemoleratioofhydrogenandtrichlorosilaneare100 kPaand3：1，respectively，atwhichtheproductionefficiencyofpolysiliconis44％ andtheeneryg consumptionis 0．0185GJ／kg．Inaddition，theadvancedSiemens—basedprocessofintroducingdichlorosilaneintofeedstockat 100kPaand themoleratio ofSiH2C12／SiHC13／H2of1：1：5 wasalso simulated．The simulated resultswere comparedwiththatoftheconventionalprocess．indicatingthattheproductivityofpolysiliconisincreasedby