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氮化硅陶瓷的制造方法 氮化硅陶瓷的制造方法 原料粉的生成方法 1）硅粉直接氮化 温度低容易生成高?相产物，温度高则生成高?相产物。有铁可促进反应进行。 为放热反应，应注意控制温度，以免超硅熔融阻碍反应进行。 氮化硅陶瓷的制造方法 2）氧化硅还原氮化 生产中碳过量和氧化硅过量都会引入杂质 3）气相合成 可制得高纯超细氮化硅粉 免费提供 氮化硅陶瓷的制造方法 4）SHS（自蔓延反应合成） 自蔓延氮化硅粉通常?含量非常高，提高?相含量的办法是硅粉中加入加入?相粉作为晶种，降低燃烧温度（加入稀释剂）等 氮化硅陶瓷的制造方法 氮化硅粉体成型和生坯处理 氮化硅粉和单质硅粉都属于瘠性粉体，在成型前需加成型助剂，使其利于粘合、塑化或悬浮。 所有陶瓷成型方法都可用于氮化硅的成型。 成型后的生坯中往往含有不同含量的成型剂等有机物，一般需脱胶（排蜡）工序。 脱蜡过程要特别注意升温速率，保证有机物缓慢气（液）化排出，防止生坯膨胀开裂！ 氮化硅陶瓷的制造方法 氮化硅的烧结 氮化硅陶瓷作为高性能材料，必须保证制品的可靠性，因此其性能必须尽可能稳定！ 1）成型和烧结过程中要尽量防止热应力和机械应力集中。 2）减少陶瓷体内缺陷，防止不同步烧结。 3）烧成的陶瓷晶粒要细，尽量减少晶界相。 体积密度尽量接近理论密度，降低气孔率。 氮化硅陶瓷的制造方法 氮化硅是共价键化合物，很难烧结致密！ 1）反应烧结或反应结合氮化硅 硅粉或硅粉和氮 化硅粉混合后成型 氮气中1200℃ 预氮化 机械加工成 所需零件 氮气氛中1400～1500℃ 最终氮化烧结 氮化硅陶瓷的制造方法 Si粉成型体一般有30％～50％的孔隙度，Si粉氮化后有22％的体积增量，因此生坯烧成后形状和尺寸基本不变。 通过预氮化，机加工，烧成后尺寸基本不变的工艺特点，可以用来制造尺寸精确、复杂形状的部件，这是区别于气体陶瓷烧结的显著特点。 氮化硅陶瓷的制造方法 氮化硅陶瓷的制造方法 反应烧结要控制反应速度，所以氮化周期比较长（一般要4～6天） 烧结坯一般还有15％～30％的孔隙率和1～5％的残留硅，因此强度一般较低！ 反应烧结需氮气渗入坯体内部，因此尺寸太厚的产品（超过10毫米）难以氮化完全，性能差。 优点：高温强度下降很少，尺寸精度高。设备投资少，制品加工比较低廉，适合大批量生产。 氮化硅陶瓷的制造方法 热压烧结(Hot-press Sintering) 高温下，外加压力强制物料移动实现致密化。 纯氮化硅粉即使热压也无法致密化！ －加入烧结助剂！ 烧结助剂同氮化硅中微量杂质及氮化硅本身反应生产玻璃相晶界，高温下玻璃相融化，在外加压力的作用下共同促进坯体致密化。 Mgo，Y2O3，和Al2O3等， 氮化硅陶瓷的制造方法 热压烧结氮化硅陶瓷，致密度高强度也高（800～1200Mpa）。 烧结中?相溶解在玻璃相中然后析出热稳定性更高的?相， 在压力的作用下?相生长成长柱状交织结构，因此烧成体的断裂韧性也较高。 氮化硅陶瓷的制造方法 热压烧结不要求预先成型，粉体不用加成型剂。 热压烧结最关键的是热压模具（1700～1800℃烧结） 石墨模具强度低，为保证热压时的压力，阴模的厚度随热压样品的尺寸增大要很厚！ 大尺寸高强石墨价格高昂，而且不能保证使用过程中不发生断裂！ 氮化硅陶瓷的制造方法 大尺寸热压模具采用碳纤维复合材料性能改善不少——壁厚降低，安全系数大大提高 碳纤维抗拉强度：2000～3000Mpa 高强石墨抗折强度：30～50Mpa，抗压强度80Mpa 热压压力一般20～30Mpa 热压烧结效率低，产品形状单一，成本较高。 氮化硅陶瓷的制造方法 常压烧结(Pressureless Sintering) 与热压烧结类似，要加入烧结助剂（加入的量比热压要高） 原料粉必须高?含量。烧结机理也是液相烧结，同时溶解，淀析过程同样存在。 由于高温氮化硅容易分解，烧结时必需使用埋粉（氮化硅＋BN＋MgO） 氮化硅陶瓷的制造方法 重烧结（Resintering或Post-Sintering 将反应烧结和常压烧结结合起来 反应烧结前将烧结助剂混入原料粉中， 将反应烧结坯在高温下重新烧结，得到致密氮化硅制品 重烧结必须在高的氮气压力下（几十到几百大气压） 制品强度可以达到热压的效果。 氮化硅陶瓷的制造方法 气压烧结（Gas-Pressure Sintering) 与重烧结类似，只是不需要前面的反应烧结过程。烧结温度最高可达2000℃。 气压烧结可以用常压烧结50％或更少的烧结助剂实现烧结，产品性能较好。 致密化主要贡献来自较高的温度，高的氮气压力主要是为了抑制氮化硅的分解。 氮化硅陶瓷的制造方法 热等静压烧结（Hot-Iso-pressure Sintering） 粉体或预压好的坯体装入包套（金属或玻璃） 炉内通