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键图建模与仿真 基于Web 的键合图法MEMS 系统级多能量域仿真 平台 姓 名 董正荣 学 号 2016412059 专 业 机械设计及理论 学 院 机械科学与工程学院 教 师 陈延礼 基于Web 的键合图法MEMS 系统级多能量域仿真 平台 1 引言 键合图法是一种基于功率流图形化表达的系统动力学仿真方法，它提供了 一种统一处理多种能量范畴工程动特性问题的途径。 在MEMS 动态系统仿真中，普遍存在大量的多种能量域相互作用以及模型 非线性问题，这一直是困扰设计人员的一大难题。目前，进行MEMS 系统级仿 真的主要方法有等效电路法、混合信号硬件描述语言法（VHDL-ASM ）等。等 效电路法将系统中元件的各种动态参数与电路中的电流、电压等信号相对应。 采用这种方法易于分析系统的动力学特性，但所得到的分析模型完全不能反映 MEMS 系统的结构特征，且整个建模过程不直观，此外，对于复杂的MEMS 系统很难建立其等效电路。混合硬件描述语言法（VHDL-ASM ）由硬件描述语 言（VHDL ）发展而来。优点在于其模型可复用技术使得HDL 库可以在建模与 仿真过程中直接调用，同时VHDL 的广泛使用也使得这一方法成为当前MEMS 系统级仿真中常用的一种方法。 键合图法则基于能量变量统一表达的思想，并借助能量守恒原理统一描述 各种能量域中的能量变量之间的关系。与其它方法相比，键合图法更适合用于 建立MEMS 多能量域动态系统仿真模型。 2 仿真平台的框架及实现 键合图系统动特性仿真方法键合图采用四种物理量，即势(e)、流(f)、动量 (p)、变位(q)来统一表达工程问题中各种能量域的动态变量。这四种动态变量高 度概括了各种能量域内普遍存在的物理量，在具体的能量域内（如：机械能、 电能、热能、光能等）必然存在相应的物理量与这四种动态变量相对应。键合 图模型由功率键、激活键和基本元件集{0-节点、1-节点、转换器TF、换能器 GY、源元件（Se、Sf）、阻性元件R 、容性元件C、感性元件I、受控元件 (MTF、MGY 、KSe 、KSf) 、非线性元件（NR 、NC 、NI ）等}组成。键合图的 每个功率键上都具有势和流两种变量。对应不同的工程问题，这些符号具有不 同的物理意义。如在电路系统Se 代表电压源、Sf 代表电流源，而在力学系统 中力源用Se 表示，速度源用Sf 表示。统一符号表达各种能量变量将有利于诸 如MEMS 系统这一类的多能量域工程体系的统一建模。 2.1 基于键合图的MEMS 仿真平台的软件实现 键合图模型一般不能直接用来进行仿真计算，这些模型必须要经过一定的 处理（如增广因果定向与自动标号），并将其转化为模拟框图模型或者系统状 态方程然后才能进行求解。目前通用的键合图仿真软件在国外比较成功的有荷 兰Twente 大学的20-sim 与MIT 的CAMP-G,它们进行键合图仿真的方法分别代 表了对键合图模型进行处理的两种主要方式。为使整个建模过程直观，本仿真 平台采用第二种方法，即将键合图模型转化为模拟框图模型进行后续处理与仿 真优化计算。 因果定向算法在作者开发的键合图仿真软件包xj_Bond 中，因果定向的目 的是确定键合图模型所有元件的输入输出因果关系，以便于在后续自动标号后 能够正确确定模拟框图元件的输入输出关系。所有元件可能存在的因果关系如 表1 所示。在计算机自动进行因果定向时将遵循以下原则： 1) 选择任一源元件进行因果定向，并利用元件的因果约束关系不断将因 果关系在模型中尽可能延伸。所有源元件照此处理； 2) 选择任一未定向贮能元件，指定其积分因果关系，并利用元件的