AOI高级理论讲训即使用方法.ppt

* 线宽参数 7 mil 实际线宽 MIN LINE = 6 mils Pixel size = 0.75 mil 2 mil 线宽 如果实际线路宽度比最小线宽参数小则报告为缺点。 最小线宽 正常线宽 AOI * 间距参数 目 的: 参数设置: 正常间距 最小间距 找出任何两铜面之间有间距不足的地方. AOI * 二：导体边缘处较小缺口或导体之间因腐蚀不净造成间距减少的漏失 2在资料制作时，所选用的解析度的大小会直接影响该料号的检测精度和产量，解析度值越大，分辨率越低，侦测能力越弱。反之，解析度值越小，分辨率越高，侦测能力越强。具体的解析度与分辨率的对应关系如下图： Normal 高分辨率 （解析度值小） 低分辨率（解析度值大） * 二：导体边缘处较小缺口或导体之间因腐蚀不净造成间距减少的漏失 1解析度大小的优缺点及设定 解析度越小侦测能力较高，但不是越小越好，解析度小扫描速度也越慢，内部逻辑的时间会越长，假缺陷也会增多，影响设备的产能。通常我们所选用的解析度采用以下原则：分辨率为最小/线宽线距的十分之一（取较小值） * 二：导体边缘处较小缺口或导体之间因腐蚀不净造成间距减少的漏失 1：报线宽假点的处理方法：一般如无报线距假点，最小线宽值应尽量打大，加强对突铜的侦测。 任何缺陷的侦测，首要前提要有该缺陷的扫描图像，以扫描图象为标准。 标准图象 扫描图形 * 1：报线间距宽假点的处理方法 如扫描图象有失真情况（如线与线之间粘在一起），只能通过调整DRC Thresholds，从而调整扫描图象。 * DRC Thresholds Max (最大临界值):数值越大，对缺口的侦测能力越强，降低数值可减少报线宽假点，数值过低减弱对缺口的侦测能力，内层可设数值为4570;外层可设数值为35—65. Min (最小临界值):数值越小，对突铜.短路的侦测能力越强，升高数值可减少报线距假点，数值过高减弱对突铜.短路的侦测能力，内层可设数值为1545;外层可设数值为25—45. 通常通过增加最小线宽/间距的值来提高对线边缘缺陷的侦测能力，一般不建议采用调节灰度值的方法。 * AOI机在扫描过程中出现频繁错位 1）错位的情况分为两种，一种是物理错位，一种是光错位 物理错位指板件在检测时相对对位时物理位置有偏移，且偏移位置大于AOI系统自动纠正范围 光学错位指板件因反光度相对对位时灰度临界有较大差异，从而使AOI对位时默认的临界灰度值无法清晰识别铜和基材 * AOI机在扫描过程中出现频繁错位 针对物理错位: 针对偏移位置较大，可以采用重新对位来解决；针对重新对位后，还存在频繁且较小距离的错位，我们可以通过降低CMTS参数敏感度来减少错位所造成的假缺陷，CMTS的敏感度由高到低分别 1.2,1.5,2.2,2.8,3.1,3.8等，对数 值越大,敏感度 越低。为增大 设备的自我纠错范围；同时也 可以点击扫描界面工具栏里一 自动对位按钮进行设备自动 纠错扫描； 针对台面的稳定 性造成错位 则需设备维修人 员对台面进行 校准等 。 * AOI机在扫描过程中出现频繁错位 光学错位：简单的分析是板面反光度不一致，每一档案号进行扫描前都需要对位，对位不仅仅是使CAM图像与实际扫描影像进行吻合，同时C