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多晶硅制备方法及太阳能电池发展现状.pdf

第8卷第2期 夏工程技术 V01.8No.2 2009年6月 EngineeringTechnology Jun.2009 文章编号:1671—7244(2009)02--0182--04 多晶硅制备方法及太阳能电池发展现状 姚敏, 袁强辉, 刘彦昌, 陈万和 (宁夏东方钽业股份有限公司,宁夏石嘴山753000) 摘要:为了降低太阳能级多晶硅生产成本,从而降低太阳能电池制造成本,促进太阳能光伏产业的发展.介绍 了目前世界上多晶硅的制备方法及其优缺点,论述了多晶硅及太阳能电池的制备工艺方法和发展现状.国内生 产表明,采用改良的西门子工艺技术生产的多晶硅纯度不高.根据中国太阳能电池产业发展中的问题,提出了多 晶硅生产技术的发展趋势,即怎样改良技术进一步提高多晶硅纯度. 关键词:半导体硅;多晶硅;太阳能电池 中图分类号:TK69l 文献标志码:A 近年来。我国集成电路及太阳能电池产业的发 再还原得到的高纯度材料(还原硅).目前,世界上 展,大大带动了多晶硅材料市场需求发展.200l一多晶硅生产的方法主要有改良西门子法(SiHCI,)、新 2006年集成电路(IC)用多晶硅市场需求量年均增 99999%一 长14.9%,太阳能电池产量则以年均157%的速度按纯度分又分为电子级多晶硅(w=99.999 高速增长,6a内太阳能电池产量及对多晶硅的需求 99.999999999 量扩大了110多倍.2006年国内集成电路用单晶硅 产量为551 999%~99.999999 t,多晶硅需求约847t;太阳能电池产量 (w=99.999 99%;杂质质量分数 为370MW,多晶硅需求约4100t,当年多晶硅总需 (N/IO-9:Bl,P2,Cl 000 求量接近5 t,而全国多晶硅产量仅287t,供需 0.75,Nd1). 比不足6%.但随着国内在建项目陆续投产,2007年 SiHCl,法是1955年西门子公司研究成功在硅 我国多晶硅产量已达1100ttl-31. 棒发热体上用H:还原制备多晶硅.1957年开始大 太阳能电池也同晶体管一样,由半导体组成,主 规模工业生产,在生产多晶硅厂中,用该方法生产的 要材料是硅.用于制造太阳能电池的高纯硅,是经 工厂最多.改良西门子法(图1)是在传统方法基础 过特殊的提纯处理制作的.太阳能电池只要受到阳 上发展起来,主要工艺包括氢化、精馏提纯、还原及 光或灯光的照射,就能够把光能转变为电能,一般产 尾气干法回收.其流程特点是采用闭路循环系统,用 生相当于所接收光能的10%~20%的电能,且光线氢化工艺将副产物SiCh转化为SiHCI,,大大降低了 越强,产生的电能就越多.为了使太阳能电池板最大 原辅材料消耗;使用大型不锈钢钟罩节电还原炉,能 限度地减少光反射,将光能转变为电能,一般在它的 耗低.该工艺还在发展中,但基本上取代了传统西 上面都蒙上一层防止光反射的膜.它的工作原理基 门子法. 础是半导体PN结的光生伏打效应,即当物体受到光 照时,物体内的电荷分布状态发生变化而产生电动 …一—丁 势和电流的一种效应.当太阳光或其他光照射半导 卷爿羽吨母哥国 体的PN结时,就会在PN结的两边出现电压,使PN 结短路,产生电流M. 一医罢c— I—叫.拿c14.巨纠反应尾气干法I 1多晶硅制备方法 I 星广-1氢化分

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