多辊轧机冷轧技术在靶材料制备中的应用.pdfVIP

第 卷 第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ! ! ! #$%!’$! ! ! ! 年 月 ! ())* ! +,-+ ./012 34512 4’6 .427,831 914:5 ;=())* ! ! 文章编号! # !))!?@(( ())*)!))!)? ! 多辊轧机冷轧技术在靶材料制备中的应用 李朝阳! 谢 军! 吴卫东! 唐永建! 陆晓明! 杜 凯! 郑凤成 ! ! ! ! ! ! ! ! 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心!四川 绵阳 # *(!A)) 摘 要! 叙述了多辊轧机轧制金属薄膜原理!以 膜制备为例!借助多辊轧机冷轧技术进行 厚 7B !C D ! ! ! ! ! 钛薄带的制备工艺研究$对薄膜的特性测试结果表明%工作辊的表面粗糙度对于轧制薄膜的表面粗糙度的影 响很大!降低工作辊表面的粗糙度可以得到粗糙度为 (C(=D 的金属薄膜$ 关键词! 多辊轧机 冷轧 表面粗糙度 惯性约束聚变 # ,8E ! ! ! ! ! ! 中图分类号! 7-@@ 文献标识码! 4 ! ! ! ! ! ! ! ! 在惯性约束聚变 #物理实验中经常要使用到从低原子序数低 #到高原子序数高 #的金属薄膜材 ,8E ! ! !! 料!例如低 的铝’中 的钼以及高 的钽等金属的薄膜材料$尤其是研究金属材料在高温高压下的状态方 ! F ! ( ) !? 程中 !需要使用厚度只有几至几十 !密度达到晶体理论密度!且具有极高表面质量表面粗糙度小于 D C) ! =D!厚度一致性好于 AAG#的金属薄膜$常用的金属薄膜的制备方法包括蒸发镀膜’磁控溅射沉积’脉冲激光 ( ) C 气相沉积 #’电镀’化学镀等 $这些方法得到的金属薄膜密度最高可以达到晶体理论密度的 !无法 .36 A)G 满足物理实验的需要$采用精密的车削加工以及机械研磨方法加工金属薄膜!可以获得具有晶体密度的金属