电子束精整加工的真空系统设计与研究.pdfVIP

2010年 7月 机床与液压 Ju1．2010 第38卷第 l4期 MACHINETO0L HYDRAULICS Vo1．38No．14 DOI：10．3969／j．issn．1001—3881．2010．14．001 电子束精整加工的真空系统设计与研究 胡建军 ，陈元芳。，许洪斌。，金铁玉 ，鲜杨 (1．重庆大学机械工程学院，重庆400044；2．重庆理工大学材料学院，重庆400050) 摘要：抽真空效率对电子束的整个加工时间起着决定性的作用。在分析系统要求的基础上，设计出真空系统原理图， 制定出真空系统的工作流程，并介绍此真空系统的特点。设计出真空系统的控制原理图，制造出真空装置并进行实验。结 果表明该系统适用于电子束加工。 关键词 ：电子束；真空系统；扩散泵 中图分类号：THI22；TB753；TN146 文献标识码 ：A 文章编号：1001—3881(2010)14—001—2 TheDesignofVacuum System forElectronBearn Process HUJianjun，CHENYuanfang，XUHongbin，JINTieyu，XIANYang (1．CollegeofMechanicalEngineering，ChongqingUniversity，Chongqing400044，China； 2．CollegeofMaterialScienceandEngineering，ChongqingUniversityofTechnology，Chongqing400050，China) Abstract：Vacuumizingefficiencyisvitaltoprocesstimewithelectronbeam．Theoperatingkeystoneofvacuum system wasde- signedbasedontheanalysisofsystem request．Theworkflow ofthevacuum system wasestablishedanditscharacteristicWas intro- duced．Th econtrollingcircuitofthevacuum system Was desing edwhilethisvacuum devicewasmadeanditsperformanceWas tested． Theexperimentalresultsshowthatitissuitableforelectronicbeam machining． Keywords：Electronbeam ；Vacuum system ；Diffusionpump 近年来，利用电子束进行金属材料表面精整加工 2 真空系统的原理和工作流程 和改性得到迅速发展。当高能量密度的射束作用到材 2．1 系统原理 料表面时，大量的能量会在短时间里沉积到材料表面 真空系统的原理如图1所示，1为扩散泵，2为 的薄层中，被加热层 的温度迅速升高 ，导致局部融 真空室，3为主阀，4和5分别为电阻规和电离规，6 化、汽化等现象。当输入能量结束时，工件表面会急 为旁通阀，7为维持阀，8为前级泵。其 中，前级泵 速冷却，材料表面经过这个强烈的物理、化学作用， 8、旁通阀6、真空室2之间形成低真空 回路；旋片 将会达到很高的机械性能…。 泵、维持阀7、扩散泵 1、主阀3和真空室2之间形 电子束精整的质量一方面取决于电子束源以及 成高真空回路 。 加工工艺的优化，而从 电子束的加工工艺来说 ，很 大程度上取决于真空的环境。真空度的提高不但可 以减少高速电子束的减速和阻尼现象，而且，抽真 Ⅱ l～扩散泵