金属氧化物气体传感器的非线性处理方法.pdfVIP

第26卷 第9期 传 感 技 术 学 报 Vo1．26 No．9 2013年 9月 CHINESE JOURNA!OFSENSORSAND ACTUATORS Sep．2013 A NonlinearProcessingM ethodofM etalOxideGasSensors FUZhongjun ，ZHOUGenyuan，CHENJianfu (JiangsuUniversityD厂Technology，ChangzhouJiangsu213001，China) Abstract：Thesensitivitycharacteristicsofmetaloxidegassensorsisnonlinear，thatmakesitdifficultforthegas concentrationmeasuring．Basedontheanalysisofthecharacteristicsofsuchsensors，anonlinearprocessingmethod isproposed．Themethodfirstsolvethenonlinearofmeasurementcircuitbydatapreprocessingtechnology．Then， based on the sensitivity principlesoflinearornearly linearrelationship in the double logarithmic domain，a nonlinearcorrectionmethodusingthree—pointcalibrationisgiven．Theexperimentsshow thatthismethodcansolve thenonlinearproblem ofsuch sensors，andimprovethemeasurementaccuracy． Keywords：gassensor；metaloxide；sensitivitycharacteristics；nonlinearprocessing；calibration EEACC：7230 doi：10．3969／j．issn．1004-1699．2013．09．002 金属氧化物气体传感器的非线性处理方法半 傅 中君 ，周根元，陈鉴富 (江苏理工学院，江苏 常州213001) 摘 要 ：金属氧化物气体传感器的气敏特性为非线性，难以用于气体组分定量测量。本文在分析该类传感器气敏特性的基 础上，提 了一种非线性处理方法。该方法先采用数据预处理技术来解决测量电路的非线性 ，然后根据其在双对数域中存在 线性或近似线性关系的原理通过三点标定进行非线性修正。验证实验证明该方法可以解决该类传感器的非线性问题 ，获得 较高精度的测量结果。 关键词 ：气体传感器；金属氧化物；气敏特性；非线性处理；标定 中图分类号 ：TP212．2 文献标识码 ：A 文章编号 ：1004—1699(2013)09-1188—05 以SnO，、ZnO等电阻式金属氧化物为基底材料 该类方法还是存在需要多点标定、建模困难等一系 制成的半导体金属氧化物气体传感器是最常见的一 列的应用难题。 种气体传感器。金属氧化物气体传感器具有灵敏度 本文在分析金属氧化物气体传感器气敏特性的 高、检测范围宽、寿命长、响应迅速、稳定性较好、适 基础上，提出了一种该类传感器在气体定量测量领域 应恶劣环境、价格低廉和使用方便等优点，在空气质 的非线性数据处理方法 。该方法包含预处理和标定 量监}贝4、气体泄漏检测等领域应用广泛 ¨J。但是 两个部分：①预处理部分实现ADC数字量到传感器 由于这类传感器气敏特性为非线性 ，导致在气体 输出阻值的转换，以解决测量电路倒数关系导致的非 浓度定量测量领域存在应用 困难 ，一般需要进行正 线性；②根据传感器气敏特性非线性的特点提出了