静电驱动振模微泵的理论分析.pdfVIP

2013年 第32卷 第 1期 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 25 静电驱动振模微泵的理论分析 张 或 ，王 文 ，赵 小林 ，丁桂甫 (1．上海交通大学 制冷与低温工程研究所，上海 200240； 2．上海交通大学 微纳科学技术研究院微米 ／纳米加工技术重点实验室，上海 200240) 摘 要：利用最小能量法和均匀压力载荷下的圆薄膜大变形半解析解相结合的方法，改进了静电驱动柔 性振膜微泵的理论分析模型。计算结果表明：考虑圆薄膜的周向应变，利用均匀压力载荷下的圆薄膜大变 形半解析解来预测振膜的形状 ，对微泵的性能有显著的影响，证明了圆薄膜大变形时的周向应变是不可忽 略的。同时讨论了介电层厚度 、腔体形状和双腔结构对微泵压缩性能的影响。结果表明：采用双腔结构 ， 减小介电层厚度 、减小腔体深度、缩小腔体半径 ，对静电驱动柔性振膜型微泵性能的提高具有积极意义。 关键词：静电驱动；柔性振膜；微泵；圆薄膜大变形 中图分类号：TH38；TP271．3 文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2013)01-0025-04 Theoreticalanalysis0n electr0staticallyactuated d一i·aph一ragm mt●cropump：I： ZHANG Yu ．W ANG Wen ，ZHAO Xiao—lin ，DING Gui—fu (1．InstituteofRefrigerationandCryogenics，SchoolofMechanicalEnglneering， ShanghaiJiaoTongUniversity，Shanghai200240，China； 2．National KeyLaboratoryofMicro／NanoFabricationTechnology，ResearchInstituteof Micro／NanoScienceandTechnoloyg，ShanghaiJiaoTongUniversity，Shanghai200240，China) Abstract：The theoretical analyticalmodelfor electrostatically actuated flexible diaphragm micropump is improvedthroughthecombinationofenergyminimizationmethodandtheanalyticalsolutionofrlargedeformation ofroundmembranedeformationunderuniofrm pressure．Thecalculationresultsshow thatthetangential strainof themembraneconsideredinthecalculationofmembranedeflectionexhibitsgreatinfluenceontheperfomr anceof thepump．Theinfluenceofdielectriclayerthickness，cavitygeometryanddouble—cavitystructureoncharacteristic ofpumpcompressionisalsodiscussed．Theresultshowsthatreducingthedielectriclayerthickness，cavitydepth， radiusofcavity，byusingdouble—cavitysturcture，haspositivemeaningtoimprovecharacterofmicropumpelectro·