非线性微机械谐振器的频率跟踪控制及数值仿真.pdfVIP

第25卷 第3期 传 感 技 术 学 报 V01．25 No．3 2012年 3月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUAFORS Mar．2012 ResonanceFrequencyTrackingControlforNonlinearMEM SResonator LIU tteng ．MENGRuili’ (1．CollegeofElectronic＆informationEngineering，Na ngUniversityofinformationtechnology，Nanjing210044，China； 2．JiangsuKeyLaboratoryofMeteorologicalObservationandSignalProcessing，Na ng210044，China) Abstract：ThenonlinearprincipleofthetypicalMEMSresonatorwasintroduced，accordingtothephaserelation betweeninputelectrostaticforceandoutputdisplacement，phase-lockedlooptechnologywasadoptedforresonator． Thecontrolequationsbasedon phase—locked technologywerealsobuiltofrthe system．With the help ofthe averagingmethod，thesystem stabilitywasanalyzedandtheequilibrium ofrtheamplitudevibrationwasachieved． Thetheoreticalanalysisandsimulationshow theintegralgainiscriticaltothesystem stability．Whenitlargerthan thecriticalvalue，thesystem stabletimeisless，buttherfequencytrackingprocesswouldfluctuate；ifitsmallerthan thecriticalpoint，thesystem stabletimeislonger，buttherfequencytrackingprocesswouldun-fluctuating． Keywords：micro-electromechanicalsystems；resonator；nonlinear；phase-lockedtechnology；averagingmethod EEACC：7630 doi：10．3969／j．issn．1004-1699．2012．03．012 非线性微机械谐振器 的频率跟踪控制及数值仿真木 刘 恒 ．孟瑞丽 (1．南京信息工程大学电子与信息工程学院，南京210044；2．江苏省气象探测与信息处理重点实验室，南京210044) 摘 要：本文分析了微机械谐振器的非线性动力学原理。根据振梁的非线性谐振条件下激励与检测信号相位关系，确定了基 于锁相技术驱动的系统分析模型。利用平均周期法得到了系统稳定条件和稳态平衡点 ，理论分析和仿真表明：振梁刚度的高 次项系数的增大，不影响系统的稳定性；当积分控制器系数小于临界值时，频率跟踪时间长 ，不出现频率抖动；反之，频率跟踪 稳定时间短，频率抖动。 关键词 ：微机械电子系统；谐振器；非线性；锁相技术；平均周期法 中图分类号：TN911．71 文献标识码 ：A 文章编号 ：1004—1699(2012)03—0338—06 微机械谐振式传感器主要通过谐振频率的改变 的系数 ．它的存在使结构的幅度稳定性变差，同时谐 来敏感角加速度、线加速度、力、电场等信号，如微机 振频率也将发生变化，这使得传感器系统表芯不再 械振动陀螺、谐振式加速度传感器、谐振式压力传感 是二阶线性的，而是高阶非线性的。基于传统控制