基于S参数传输法的石英晶体静电容测量.pdfVIP

学兔兔 第32卷 第4期 仪 器 仪 表 学 报 Vo1．32 No．4 2011年4月 Chinese Journal of Scientific Instrument Apr．2011 基于S参数传输法的石英晶体静电容测量术 董政洁，刘桂礼，王艳林，李 东 (北京信息科技大学 北京 100192) 摘 要：介绍了使用S参数传输理论测量石英晶体静电容的方法。以 网络测量石英晶体电参数的硬件电路为测试平台，采 用Agilent公司自动矢量网络分析仪E5070B测量标称频率为16．934 4 MHz的石英晶体的两端对s参数。由网络分析方法中 二端口参数的转换关系测量晶体的阻抗，以石英晶体两端对等效电路模型为基础，根据谐振频率附近3O个频率点处的晶体阻 抗可以精确测量静电容。测量结果证明，两端对s参数传输法可以精确稳定地测量石英晶体静电容，为石英晶体其他电参数的 精确测量奠定良好基础。 关键词：静电容；S参数传输法；二端对等效电路；矢量网络分析 中图分类号：TH752．2 文献标识码：A 国家标准学科分类代码：460．4030 Quartz crystal static capacitance measurement based on S parameter transmission method Dong Zhengjie，Liu Guili，Wang Yanlin，Li Dong (Beijing Information ScienceTechnology University，Beijing 100192，China) Abstract：Measurement method of quartz crystal static capacitance using S parameter transmission theory is described in this article．Based on hardware circuit of 1T—network method for measuring electric parameters of quartz crysta1． automatic vector network analyzer E5070B produced by Agilent Company is used to measure the S parameters of quartz crysta1．Measurements of quartz crystal at nominal frequency of 16．9344MHz are taken as examples．Accord- ing to the transformation between Z and S parameters，the impedances of quartz crystal can be obtained．Based on the two—port equivalent circuit model of quartz crystal，high-precision quartz crystal static capacitance is calculated from the impedances at 30 frequency points around the resonanc