7-第5章压电传感器要点.ppt

5.1 压电效应 某些物质沿某一方向受到外力作用时，会产生变形，同时其内部产生极化现象，此时在这种材料的两个表面产生符号相反的电荷，当外力去掉后，它又重新恢复到不带电的状态，这种现象被称为压电效应。当作用力方向改变时，电荷极性也随之改变。这种机械能转化为电能的现象称为“正压电效应”或“顺压电效应”。 反之，当在某些物质的极化方向上施加电场，这些材料在某一方向上产生机械变形或机械压力；当外加电场撤去时，这些变形或应力也随之消失。这种电能转化为机械能的现象称为“逆压电效应”或“电致伸缩效应”。 常见的压电材料可分为两类，即压电单晶体和多晶体压电陶瓷。 压电单晶体有石英(包括天然石英和人造石英)、水溶性压电晶体(包括酒石酸钾钠、酒石酸乙烯二铵、酒石酸二钾、硫酸锤等)；多晶体压电陶瓷有钛酸钡压电陶瓷、锆钛酸铅压电陶瓷、铌酸盐压电陶瓷和铌镁酸铅压电陶瓷等。 如果从石英晶体中切下一个平行六面体并使其晶面分别平行于Z-Z、Y-Y、X-X轴线。晶片在正常情况下呈现电性。通常把沿电轴(X轴)方向的作用力产生的压电效应称为“纵向压电效应”，把沿机械轴(Y轴)方向的作用力产生的压电效应称为“横向压电效应”，沿光轴(Z轴)方向的作用力不产生压电效应。沿相对两棱加力时，则产生切向效应。压电式传感器主要是利用纵向压电效应。 第5章 压电式传感器 正（顺）压电效应示意图 F － － － － － － ＋ ＋ ＋ ＋ ＋ ＋ F F F ＋ ＋ ＋ ＋ ＋ ＋ － － － － － － 压电效应的可逆性 逆压电效应 电能 机械能 正压电效应 如图所示为天然石英晶体，其结构形状为一个六角形晶柱，两端为一对称棱锥。 5.1.1 石英晶体的压电效应 在晶体学中，可以将其用三根互相垂直的轴表示，其中，纵轴Z称为光轴，通过六棱线而垂直于光铀的X铀称为电轴，与X-X轴和Z-Z轴垂直的Y-Y轴 (垂直于六棱柱体的棱面)称为机械轴。 石英晶体具有压电效应，是由其内部分子结构决定的。下图是一个单元组体中构成石英晶体的硅离子和氧离子，在垂直于z轴的xy平面上的投影，等效为一个正六边形排列。 图中“＋”代表硅离子Si4+， “－”代表氧离子O2-。 2. 石英晶体产生压电效应的微观机理 硅氧离子的排列示意图 (b) + x y + + - - - (a) x y - ＋ 当石英晶体未受外力作用时，正、负离子正好分布在正六边形的顶角上，形成三个互成120°夹角的电偶极矩P1、P2、P3。 如图（a）所示。 (a) Fx=0 x y + P1 P2 P3 - - + + - 因为P = qL（q为电荷量，L为 正负电荷之间的距离），此时 正负电荷中心重合，电偶极矩 的矢量和等于零，即 P1+P2+P3＝0 所以晶体表面不产生电荷，呈电中性。 (b) Fx0 x + Fx y + - Fx - P1 P2 P3 - - + + - + + + - - 当晶体受到沿x方向的压力（F x 0）作用时，晶体沿x方向将产生收缩，正、负离子的相对位置随之发生变化，如图（b）所示。此时正、负电荷中心不再重合，电偶极矩P1减小，P2、P3增大，它们在x 方向上的分量不再等于零: (P1+P2+P3)x0 在x轴的正向晶体表面出现正电荷。 在y、z方向上的分量为: (P1+P2+P3)y = 0 (P1+P2+P3)z= 0 当晶体受到沿x方向的拉力（Fx ＞0）作用时，其变化情况如图（c）所示。电偶极矩P1增大， P2、 P3减小，此时它们在x、y、z三个方向上的分量为 (P1 +P2 +P3) x0 (P1+ P2+ P3)y =0 (P1 +P2 +P3)z =0 在x轴的正向表面出现负电荷，在y、z方向依然不出现电荷。 (c) Fx0 y x + + + Fx Fx P2 P3 P1 + + + - - + - - - - 可见，当晶体受到沿x(电轴)方向的力Fx 作用时，它在x方向表面产生正压电效应，而y、z方向则不产生压电效应。 晶体在y轴方向受力Fy作用下的情况与Fx 相似。当Fy ＞0时，晶体的形变与图（b）相似；当Fy ＜0时，则与图（c）相似。由此可见，晶体在y（即机械轴）方向的力 Fy作用下，在x方向产生正压电效应，在y、z方向同样不产生压电效应。 晶体在z轴方向受力Fz的作用时，因为晶体沿x方向和沿y方向所产生的应变完全相同，所以，正、负电荷中心保持重合，电偶极矩矢量和等于零。这就表明，在沿z(即光轴)方向的力Fz 作用下