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真空物理与技术 (专业任选课) Vacuum Physics and Technology 以下部分标题填写用黑体五号字体，具体填写内容字体为宋体五号） 【课程编号】RZ26226 【课程类别】专业选修课 【学分数】1.5 【编写日期】2010.3.30 【学时数】32 【先修课程】物理各课程、大学英语 【适用专业】物理学、电气类 一、教学目的、任务 真空物理与技术是高等院校物理专业一门专业任选课程。 在大学物理的基础上进一步专门学习与真空相关的物理知识和技术知识。这门课程所涉及的知识广泛应用于工农业生产中，通过学习要掌握真空物理与技术的基本知识和常见的真空系统所涉及到的真空泵、真空测量、真空检漏法。能够设计和维护一般工业生产和科技工作中的常见真空系统。 二、课程教学的基本要求 1．掌握真空物理与技术的基本知识 2．掌握常见的真空系统所涉及到的真空泵、真空测量、真空检漏法。 3．了解真空技术所涉及的相关应用领域和真空技术的新进展。 三、教学内容和学时分配 1 + 5 + 8 + 6 + 6 + 6 = 32 总论（或绪论、概论等） 1 学时（课堂讲授学时+课程实验学时） 主要内容： 总体介绍该门课程的主要内容和课程结构；介绍该门课程的基础和该课程所学知识的应用领域及发展前景。 介绍真空分类、真空术语和真空技术符号等基础知识 教学要求： 了解该课程的主要内容、课程结构及应用领域，掌握真空分类和基本真空术语。 其它教学环节（如实验、习题课、讨论课、其它实践活动）： 第一章 真空物理基础 （6） 主要内容： 1、理想气体规律； 2、气体分子运动论基础 3、蒸汽、蒸发与凝聚 4、气体吸附 5、气体流动 教学要求： 掌握气体分子运动规律和气体吸附和流动相关知识。 其它教学环节（如实验、习题课、讨论课、其它实践活动）： 第二章 真空泵 （8） 主要内容： 1、主动移位泵（Positive displacement pumps机械真空泵、水环泵、罗茨泵、分子泵）。 2、蒸汽流泵(Kinetic pumps) 3、气体捕集泵（Entrapment pumps） 4、泵的选择 教学要求： 掌握常用真空泵的基本原理和工作方式，能根据真空要求选择相应的真空泵。 其它教学环节（如实验、习题课、讨论课、其它实践活动）： 第三章 真空测量（6） 主要内容： 1、真空测量基本知识和测量分类， 2、全压强测量 3、分压强测量 4、真空规校准 教学要求： 掌握常用真空系统中的真空测量技术 其它教学环节（如实验、习题课、讨论课、其它实践活动）： 第四章 真空材料、真空元件和真空清洁（6） 主要内容： 1、真空材料分类、 2、真空元件 3、真空清洁 教学要求： 掌握常用真空材料性质、真空元件和真空清洁方法。 其它教学环节（如实验、习题课、讨论课、其它实践活动）： 真空系统设计与真空检漏（6） 主要内容： 1、真空系统（低真空系统、高真空系统、超高真空系统） 2、真空检漏 （实漏与虚漏、检漏方法、检漏仪器） 教学要求： 掌握常见的真空系统和常用检漏方法 其它教学环节（如实验、习题课、讨论课、其它实践活动）： 四、教学重点、难点及教学方法 教学重点是常见真空系统所涉及的真空泵、真空元件、真空测量方法和真空检漏。 教学难点是真空物理基础知识的理解 五、考核方式及成绩评定方式 考查 六、教材及参考书目 推荐教材： 1、真空物理与技术 2、真空设计手册 达道安主编 国防工业出版社 第二版。 3、 Basic Vacuum Technology A Chamber, R. K. Fitch Institute of Physics Publishing Bristol and Philadelphia. Second Edition 。 修（制）订人： 审核人： 2010年3月30日