磁悬浮平面电机.ppt

第6部分超精密多自由度平面运动实现方法 超细微加工工作台 超精密多自由度运动的实现原理 多自由度运动实现：在空间上各自由度上的分别驱动，合成所需要的空间轨迹或路径；运动：旋转式——〉机构——〉直线运动 结构上的层叠式； 超精密的微驱动实现方法：粗定位——〉细定位，驱动器： （可控制的）电、热、磁等物理现象——〉运动 高速、大位移、多自由度与超精密的统一等问题 多自由度平面电机 直接实现空间复合运动 结构轻便、可实现高速的空间轨迹的控制 空气悬浮平面电机 空气悬浮平面电机 磁悬浮平面电机 交流绕组：悬浮与驱动合一 直流绕组：悬浮与驱动分开 问题：大位移下非线性磁力建模与分析 计算机动态仿真与分析计算方法 设计方案 1. 采用无铁心的螺线管线圈与永磁体配对使用。线圈静止、永磁体移动 2. 悬浮线圈和驱动线圈都使用直流电，比较容易控制。 悬浮线圈 驱动线圈 驱动力和加速度 激光测量系统 控制硬件和软件 基于MATLAB开放式运动控制卡 耦合问题 多向耦合问题 * * Ti:sapphire Laser Computer Monitor Control Focusing Lens Workpiece Mirror Translation Stage Laser Beam 以飞秒激光作为刀具:光斑为纳米级 以磁悬浮工作台作为定位工作台：　工作范围１X1mm2 以基于CCD和正交光栅作为测量反馈系统：分辨率为０.１纳米 产品： 根据压电陶瓷所具有的超声波驻波原理，nanomotion推出了极为先进的电子电机。它的工作方式和直流伺服电机类似，但却具有压电执行机构特有的高分辨率（50纳米）和动态性能。 W.J. Kim and D. L. Trumper（MIT） Tokyo Institute of Technology,Japan 磁悬浮平面电机 磁悬浮平面电机 项目 特性和参数 悬浮线圈 线径；每层42匝，共8层；总匝数：42X8＝336匝 悬浮电流 I＝2A 平衡位置 Z＝0.5mm 磁悬浮平面电机 磁悬浮平面电机 不同电流时的磁感应强度变化曲线 项目 特性和参数 推力线圈 线径；每层142匝，共7层；总匝数：142X7＝994匝/相 悬浮电流 I＝0.5A 磁悬浮平面电机 L1 L2 L3 L4 L5 R X Y 磁力线长度计算用图 磁悬浮平面电机 国内外研究现状分析 MIT 采用激光干涉仪和高精度电容进行多自由度位移检测，精度可达0.05um 测量系统 基于三维角度格子和表面二维角度传感器的表面编码器（Surface Encoder），精度为0.1?m、0.01弧度。日本Tohoku大学 美国University of North Carolina 和MIT联合开发的扫描显微镜多自由度平台采用3个高精度电容传感器测量垂直方向的三个自由度，采用3个四通激光外差干涉仪测量水平方向的三个自由度。 电容传感器的分辨率0.1nm，测量范围为100um。激光干涉仪的分辨率优于0.1nm。 测量系统 国内外研究现状分析 韩国三星电子机械公司与汉城国立大学联合研究的多自由度定位平台采用三个内置的电容来测量平台的运动，为了减小测量噪音，测量放大部分的印制电路安装在悬浮平台上。整个系统在y和z方向的定位精度小于0.1?m，在各个方向的旋转精度小于0.5弧秒。 国内外研究现状分析 测量系统 CCD 高NA数物镜 荧光滤光片 平面正交光栅 光源 工作平台 图像采集电路 计算机 基于平面正交光栅的超精密平台多维位置测量原理研究； 基于机器视觉的超精密多自由度测量系统图形处理方法的研究； 基于机器视觉和平面正交光栅的超精密多自由度测量系统的构建与试验研究。 基于机器视觉和平面正交光栅超精密工作台多自由度测量系统 测量系统 磁悬浮平面电机的控制系统 伺服放大系统（PWM，线性放大器） 基于开放式控制软件平台的硬件系统