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薄膜研究
第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报
年 月 ,
文章编号 一 一 一
在 室温条件 下制备 高质量 纳米结构 薄膜研 究
,
, , , , ,
闰鹏 勋 ‘ 吴 志 国 ‘ 徐建伟 ‘ 张玉 娟 ‘ 张伟伟 ‘ 刘伟 民
兰 州 大 学等 离子 体 与金 属材 料研 究所 , 兰 州 中 国科 学院 兰 州化 学物
、
理 研 究所 固体 润 滑 国家重 咨实验 室 , 兰 州
摘 要 在 室温 条件下, 利用磁过滤 等离子体在单 晶硅和不锈钢表 面 上制备 了性能优异 的纳
米结构 薄膜 运 用原子力显微镜和 掠角人 射 射线衍射仪对其 结构 与形貌进 行 了表 征 ,
利 用纳米压 痕仪测量 了 薄膜 的硬度和 弹性模量 结果表 明 薄膜表 面光滑 , 致密,
无柱状 晶 晶粒 的平均尺 寸为 , 薄膜硬度达 , 是传统 和 技术沉积
氮化钦 的两倍 多 衍射试验表 明, 纳米 的衍射角都普遍 向小角度 移动 , 晶粒
沿 择优生长
关 键 词 磁过滤 等离子体 纳米薄膜
中图分类号 文献标识码
引言
阴
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