薛群基.PDFVIP

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 文章编号 一 一 一 氢离子注人单 晶硅表面 的微观结构和微观 力学性 能研 究 , , , 孙 蓉 , 徐 洗 寇冠 涛 薛群 基 ‘ 中 国科 学院兰 州化 学物 理 研 究所 固体 润 滑 国家重 点 实验 室 , 兰 州 河 南大 学特 种 功 能材 料 重 点 实脸 室 , 开封 摘 要 通过离子注入技术对单 晶硅表面进行扭离子注入 处理 , 利用纳米压痕仪及其 附件研 究 了单 晶硅表面在离子注入前 、 后 的微观力学性能和变形机理 , 并用透射 电子显微镜研 究了改 性层 的微观结构 研 究结果表 明 一定剂 的组离子注入使单晶硅表面 的断裂韧性得到改替, 了 划痕过程 的 效 因 的注入 晶硅 面形成 了硅 的微 晶态 提高 其在纳米 中 失 负荷 原 是组离子 使单 表 与非 晶态共存 的混合态结构的改性层 , 改善了单 晶硅 的微观力学性能 关 键 词 单 晶硅 , 扭离子注入 , 纳米划痕 , 断裂韧性 中图分类号 文献标识码 引言 硅材料是微 电子工业 的基础 , 其机械性 能对材料和集成 电路 , 以及 其他器 件产生重 要 影 响 , 】但是 , 单 晶硅 常温 下属 于硬脆性材料, 在使用过程 中很容易 由于 表面 的脆 性 断裂 · 导致磨损 失效 文献 、 表 明对脆性材料进行离子注入 可改善其表 层和 次表层 的机 械性 】 能 近 年来 已有研 究利用离子注入技术改替陶瓷材料 的表面 韧性 鉴 于 离子 注 入 层 的粘 附 、 力强 成分可精确控制及表面形貌变化小等特点, 硅材料 的离子注入 将成为解决微型机 械 摩擦磨损 间题 的有效手段 川 微 型机械 的牵 引驱 动及 运 转过程 中存在 的摩擦磨损属于 微观 或纳米摩擦学 的研 究范 畴, 不 同于 宏观 的摩擦磨损特性 , 与微观力学和 机械学