辉光放电等离子体辅助！#$准分子激光溅射沉积碳氮薄膜.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 2! ## $!!# ## ， ， ， O5I )2! +5 ) ## +5P71Q7R $!!# （ ） #!!!,.$!?$!!#?2! ## ?$$%.,!% -M 8JN’4- ’4+4- #$!!# -6(0 ) 86DE ) ’5F ) 辉光放电等离子体辅助!#$ 准分子激光 溅射沉积碳氮薄膜! 傅广生 于 威 王淑芳 李晓苇 张连水 韩 理 （河北大学物理科学与技术学院，保定 !#!!$ ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $!!! ## $! $!!# % 利用直流辉光放电等离子体辅助的脉冲激光沉积技术在 衬底上生长了碳氮薄膜 通过扫描电子显微镜、 ’( ) * 射线衍射、射线光电子能谱、俄歇电子能谱等多种手段，对薄膜的形貌、成分、晶体结构、价键状态等特性进行了 * 分析和确定 结果表明，沉积薄膜为含有非晶 和晶态氮化碳颗粒结构，晶态成分呈多晶态，主要为 相、 ) ’(+ ,- + , ! . / 相，晶粒大小为 — 碳氮之间主要以 非极性共价键形式相结合 - + /! %!01 ) -,+ ) . / 关键词：脉冲激光沉积，直流辉光放电，碳氮薄膜 ： ， ， %## 3##24 2$3! %322 薄膜) 这种方法还可以在反应气氛中制取薄膜，使 # 引 言 环境气体激发、解离，参与薄膜沉积反应，这提供了 控制薄膜成分的另一途径) 具有特殊性能的新型材料的制备一直是凝聚态 本工作应用直流辉光放电等离子体辅助的脉冲 物理及现代材料科学研究热点，晶体结构类似于 , 激光沉积（ ）技术，对 气氛中 基底上的 8;,89: + ’( $ ’( + 而硬度可以和金刚石相比拟的 ,- + 是其中 碳氮薄膜生长进行了研究，利用扫描电子显微镜 . / . / ［］ 最受瞩目的新材料之一)