第7章–结构型传感器.pptVIP

* 第7章 结构型传感器 传感器按构成原理分为结构型和物性型传感器。 结构型传感器是以其转换元件结构参数变化实现信号转换，主要有：应变电阻式、电感式、电容式及磁电式等； 而物性型传感器是以其转换元件物理特性变化实现信号转换，主要包括：光电式、压电式、热电式等。 7.1 应变电阻传感器 应变电阻式传感器属于电阻式传感器中的一种，是目前广泛应用的传感器之一。它是以电阻应变片为传感元件，将应变或能转化为应变的其它量，转化为应变片电阻的变化。应变具有如下优点： （1）结构简单，使用方便。 （2）性能稳定，使用寿命长。 （3）灵敏度高，动态响应快。 （4）便于远距离和自动化测量。 7.1.1 应变式传感器的工作原理及结构 1．金属电阻的应变效应 设一金属导线长为 ，截面积为 ，电阻率为 ，则它在未受力时的原始电阻值为 （7-1） 当沿导线轴向方向受到力 作用时，导线发生形变，则其电阻值也随之发生变化，这一效应称为金属的电阻应变效应。对（7-1）式两边微分： （7-2） 电阻的相对变化为： （7-3） 式中 称为金属丝的轴向应变，简称应变，用 表示， , 而 ,所以 ，（7-3）式 可写为 （7-4） 通常把单位应变所引起的电阻相对变化称为应变灵敏系数，即 （7-5） 7.1.1 应变式传感器的工作原理及结构 1．金属电阻的应变效应(续） 从（7-5）式可以看出， 电阻的应变灵敏系数可分为两部分。 第一部分对应受力后材料的几何尺寸变化引起的，金属材料的电阻应变效应以此项为主，其值一般在1.8～4.8之间。 第二部分对应受力后电阻率的变化引起的，半导体材料的压阻效应以此项为主，其值可达100以上。 7.1.1 应变式传感器的工作原理及结构 1．金属电阻的应变效应(续） 2．金属应变片的结构 电阻应变片主要有金属应变片和半导体应变片两大类。而金属电阻应变片又有金属丝式、泊式和薄模式应变片。 金属丝式应变片其结构如图7.1所示，它是由敏感栅，基底，盖层，引线和粘结剂组成。 基底 盖层 引线 敏感栅 图7.1 电阻应变片结构 7．1．2 电阻应变式传感器的主要特性及参数 1． 静态特性 金属应变片感受试件不随时间变化或变化缓慢的应变时的输出特性称为静态特性。主要有灵敏系数，横向效应，机械滞后，蠕变和应变极限等。 2．动态特性 应变片的动态特性是指其感受随时间变化的应变时的响应特性。 7．1．3 应变片的温度效应及其补偿 1．温度效应 粘贴在试件上的应变片，当环境温度变化时，也会引起应变电阻的相对变化，这种单纯由温度变化引起的应变计电阻变化的现象，称为应变计的温度效应。 2．温度效应的补偿 温度效应的补偿就是消除热输出对测量应变的干扰。 （1）单丝自补偿法 由式（7-12）知，要实现温度补偿，只要满足条件： （7-13） 因此，对给定的试件（ 确定），可以适当选取应变片栅丝的温度系数 及膨胀系数 ，使式（7-13）成立，即可在一定温度范围内实现温度补偿。 7．1．3 应变片的温度效应及其补偿 2．温度效应的补偿（续） （2）双丝自补偿法 双丝自补偿应变片的敏感栅由电阻温度系数一正一负两种合金丝串接而成，如图7.4所示，应变计总电阻为： ，当温度变化时，若 和 的电阻变化大小相等或相近，而符号相反，则就可以起到温度补偿作用。 焊点 图7.4 双丝自补偿应变计 （3）双丝半桥 双丝半桥式是利用电桥电路实现温度补偿，这种应变计的丝栅是用相同符号温度系数的合金丝串接在一起，其结构及电桥连接方式如图7.5所示： 和 分别接入电桥的相邻臂上， 称为工作栅， 称为补偿栅，它具有较高的温度系数，并串接附加电阻 （不敏感温度）， 和 称为平衡电阻。当温度变化时，只要电桥两臂的热输出相等或相近，就能达到热补偿的目的。 图7.5双丝半桥式应变计 U U0 R1 R2 RB R3 R4 这种补偿的优点是：通过调整 ，不仅可使热补偿达到最佳状态，而且能适用于不同的试件。缺点是：对 的精度要求较高，而且由于 和 处于电桥的两相邻臂上，因此当有应变时，补偿栅同样起着抵消工作栅有效应变的作用，从而使应变计的灵敏度降低。 （4）补偿块法 补偿块法就是利用两片性能参数完全相同的应变片，其中一片粘贴在试件上作为工作片，另一片粘贴在与试件相同材料，相同环境温度，但不参与机械应变的补偿块上作为补偿