X射线光电子能谱仪挂.doc-实验室及设备管理处-重庆大学.doc

重庆大学X射线光电子能谱仪采购 我校拟采购X射线光电子能谱仪1套，相关要求如下： 本表面分析系统为联合谱仪，包括X射线光电子能谱（XPS）和紫外光电子能谱（UPS），用于材料表面的成分和价态的定性、定量分析。仪器主体包含进样腔室，分析腔室进样腔室有配套的真空传输装置，能够维持高真空，并且有真空监测装置；分析腔室能够维持超高真空环境，并预留有与样品台对准的扩展接口，可安装UPSAES，双阳极，GCIB离子枪样品制备腔室和其他激发源等实现多种技术联用；分析腔室配备单色化Al Ka 阳极X射线源，荷电中和系统，氩离子刻蚀枪；仪器操控需要计算机及软件系统。 真空系统 分析室 优先考虑μ金属制造，其次为不锈钢金属； *真空度：烘烤后7×10-8Pa；（真空系统抽速大者会给予加分考虑） 进样室 优先考虑μ金属制造，其次为不锈钢金属； 真空度：烘烤后7×10-7Pa； 分析室样品控制、观察和调整 轴向：5轴样品台，即X、Y、Z移动和倾斜、旋转； 移动：X：不小于mm，Y：不小于mm，Z：不小于mm *倾斜：以水平方向为轴－90o～＋60o，用于角分辨XPS； 旋转：以样品法线方向为轴360o连续旋转，用于离子刻蚀防止弧坑效应； 控制：X、Y、Z和倾斜全自动控制与记忆，可编程自动分析，且自动确定分析高度； 安置方式：多试样样品条和单个样品座； 标准样品：用于校准平行图像图形化的Au网用于校准空间分辨的锐利的刃口样品用于校准能量分辨的Cu/Ag/Au等标准样品； 进样室样品控制、观察和调整 多样品停放台：一次可装入并存储3个样品条（或者单次能保证完成不少于； 样品观察：进样后抽真空时，在样品上预设和记忆分析位置，并同时设定分析条件 静电传输透镜 静电传输透镜 选区分析模式：原则上需光阑遮挡式自动光阑和光圈，镜筒内置静电偏转板实现不移动样品台的选点微区分析和扫描成像；如未光阑遮挡式自动光阑和光圈，需提供相应证据及专利证明其所拥有技术等同或者优于该选区分析模式。 能量扫描范围：0~3000eV，能实现全谱和；如果配备高能靶，原则上优先考虑。 电子能量分析器 采谱电子能量分析器需满足或者优于如下指标 类型：180°双聚焦半球扇形分析器； 150mm，半径越大优先考虑； 电子检测器 电子检测器可采用两种方案：a）多通道板（MCP）和双层128物理通道的二维阵列延迟线检测器（DLD）；128通道MCP探测器 (同时完成SXI二次电子影像、采谱分析及化学态成像)。如果产品有自身优势，可详细说明。 采谱模式 宽/窄扫描谱：顺序能量扫描； 快照采谱：非扫描模式的数秒即得，可用于瞬态XPS分析； 从图得谱：利用一系列顺序能量的光电子平行图像，在某一像素点上重构该点光电子能谱，空间分辨优于1μm（200×200μm2视场）； 能够实现从谱得图 成像模式 快速平行成像或者扫描成像 空间分辨：优于2μm（锐利刀口样品，信号强度80～20%的线宽度）； 扫描成像：可实现束斑大小优于20μm的扫描； Al Kα单色化XPS 射线源类型：Al KαX射线源 分辨率 (Ag 3d5/2)：FWHM）等于或者优于0.45eV。 灵敏度 (Ag 3d5/2)eV @1.5Mcps；束斑在100±20μm区间eV@400kcps；束斑小于20μm，等于或者优于0.6eV@ 5kcps。若优于此参数，请详细列出。 Al/Ag (或Al/Zr、Al/Mg双阳极 阳极（Ag 3d5/2）需满足灵敏度≥0.90eV@6kcps。 荷电中和器 能量分辨和灵敏度(PET 上O-C=O 的C 1s：分辨率，C1s0.85 eV；林灵敏度，任意束斑下，灵敏度必须等于或者优于0.7eV @20kcps；束斑在100±20μm区间eV@3kcps。若优于此参数，请明确列出。 Ar离子枪 可执行样品中和、清洁和深度剖析功能；离子能量范围不小于200eV-5keV 连续可调且溅射区域可调；溅射区域尺寸越小越好，不小于 10x10mm 连续可调。同时能够解决生物样品的中和、清洁和深度剖析功能。 *谱仪控制和数据处理 谱仪控制：全计算机自动控制； 数据处理：定性分析、定量分析、曲线拟合等，如果具有系统自带本底扣除方法则优先考虑； 计算机：主流HP计算机（双显示器）；另外提供数据解析HP计算机一台。均配置正版windows8系统，硬盘不小于1T，内存不小于8G，带DVD刻录机。其中数据解析HP计算机需安装正版办公软件。 *紫外光电子能谱（UPS） 光源：He紫外光源； 能量分辨和灵敏度：Ag费米边20%～80%≤120meV时Ag 4d计数率≥1Mcps； 分析室冷热台 加热：室温～600连续可调，可保恒温； 致冷：室温～-100连续可调，可保恒温；进样室冷热台 加热：室温～800连续