《光电检测技术》第五章 真空光电器件.pptVIP

2.微通道板光电倍增管 用微通道板代替传统光电倍增管中的电子倍增器的光电倍增管 为了减小微通道内残存离子的影响，防止雪崩击穿中，通常使用Z形的折线通道 优点： 尺寸大为缩小 响应速度大大提高 5.6 光电倍增管的应用 5.6.1光谱测量 以其光谱响应范围宽而被广泛应用于：生产过程控制、无素的测定、各种化学分析和冶金学分析仪器中 5.6.2 极微弱光信号的测量---光子计数 一般测量范围为： 大于10-18W(每秒约10个光子左右)，小于10-14W(每秒约105个光子) * 第五章 真空光电器件 5.1 光电阴极 工作基础：基于外光电效应的光电探测器件 结构特点：有一个真空管，其它元件都放在真空管中 分类：光电管和光电倍增管 入射光辐射的光子能量足够大时，它和金属或半导体材料中的电子相互作用的结果使电子从物质表面逸出，---光电发射效应。 在空间电场的作用下就会形成电流 光电发射体-----能够产生光电发射效应的物体 光电阴极----应用中光电发射体常和电源的阴极相连，所以称为 光电发射效应---- 5.1.1 光电阴极的主要参数 1.灵敏度 （1）光照灵敏度 在一定的白光照射下，光电阴极光电流与入射的白光光通量之比，也称为白光灵敏度或积分灵敏度 （2）色光灵敏度 当入射光波长为某一段波长范围的光时，光电阴极光电流与入射的光通量之比。 通过加滤光片来实现，比如蓝光灵敏度、红光灵敏度、红外灵敏度等 （3）光谱灵敏度 确定波长的单色光照射时，光电阴极光电流与入射的光通量之比。 2.量子效率 入射的光子数与产生的电子数之比 量子效率与光谱灵敏度之间的关系 3.光谱响应曲线 光电阴极的光谱灵敏度或量子效率与入射光波长的关系曲线 4.热电子发射 由于电子热能较大，而可能逸出阴极表面，而产生热电子发射 室温下典型阴极每秒每平方米发射的热电子可 形成10-16~10-17A/m2的电流 对于光电测量而言是噪声 5.1.2 光电阴极的分类 透射型： 光通过透明介质射向光电阴极，而电子从光电阴极的另一面发射出去 光 电子 反射型： 光照射到阴极上，电子从同一测射出 对阴极的厚度有要求,不能太厚 光 电子 阴极一般较厚 5.1.3 常用的光电阴极材料 1.Ag-O-Cs 材料 2. 单碱锑化物 3. 多碱锑化物 具有良好的可见和近红外响应 透射型：300~1200nm，反射型：300~1100nm 在可见光区域灵敏度较低，所以主要用于近红外探测 紫外和可见光区的灵敏度最高 适合于测量较强的入射光 CsSb： 锑和某一种碱金属的化合物 锑和多种碱金属的化合物 具有高灵敏度的宽光谱响应，红外端可延伸到930nm 4.负电子亲合势光电阴极 半导体光电阴极的光电子的逸出过程，以P型半导体为例 价带 导带 E0 EC EV Eg E0 （电子亲合势） P N 负电子亲合势---- EO EC1 EV1 EC2 EV2 EO EA1 EC1 EV1 EC2 EV2 表面耗尽区 P N 负电子亲合势 加速 特点： 1）量子效率高 ------因其逸出深度高的多 2）光谱响应率均匀，且光谱响应延伸到红外 正电子亲合势光电阴极的阈值波长为 负电子亲合势光电阴极的阈值波长为 3）热电子发射小 因负电子亲合势的光电材料的禁带宽度般比较宽 4）光电子的能量集中 5.紫外光电阴极 ---“日”盲型光电阴极 CsTe(长波限0.32μm） CsI（长波限0.2μm) 目前比较常用的有 5.2 光电管与光电倍增管 5.2.1 光电管 阴极K 阳极A IФ Φ RL Uout Ub 真空型 充气型：有倍增作用 5.2.2 光电倍增管 光电倍增管比光电管增加的电子光学系统和电子倍增极，因此极大地提高了灵敏度 光电倍增管----是建立在光电子发射效应，二次电子发射效率应基础上，能将微弱光信号转换成光电子并将光电子数目放大的真空光电发射器件。 电子光学系统 阴极K A阳极 μA U1 U2 U5 U6 U3 D2 U4 D3 D1 D4 D5 每一倍增极之间的电压为50-150V。 每7-10个光子从光电阴极发射出1-3个电子。 电子被加速打在倍增极上，每1个电子可以打出3-6个电子。 一直持续下去直到最后一个倍增极,电子数量达到105-108， 最后这些电子被吸引到阳极形成电流输出。电流的大小正比于光阴极接受的光子数目，即正比于探测器吸收的辐射通量或照度。 工作原理 1.入射窗口 1）窗口材料 反射式光电阴极 透射式光电阴极 2）常用的窗口材料 硼硅玻璃：透射范围从300nm~红外 透紫外玻璃：可透过的最短波长为185nm，但化学稳定性较差 -----决定了入射光的透过情况 侧窗式 端窗式 熔融石英：可透过的最短波长为160nm 蓝宝石：可透过