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第34卷 第4期 上 海 金 属 Vo1．34，No．4 12 2012年7月 SHANGHAIMETALS July，2012 不同偏压对沉积 CrMoN涂层耐磨性能的影响 苑俊峰 施 雯 李 潇 张 健 (上海大学材料科学与工程学院，上海 200072) 【摘要】 采用非平衡闭合场磁控溅射技术，在冷作模具钢 Crl2MoV表面制备不同偏压 CrMoN涂层。通过 XRD、SEM、显微硬度和磨损试验分析等方法考察涂层的相结构、力学性能 与耐磨性。实验结果表明：呈面心立方结构的CrMoN涂层不同程度地强化了基体表面(HV。 1000～1800)，摩擦系数降低至0．3～0．35，经18h磨损试验后，60、75V偏压沉积的涂层的磨 损体积 (2．01×10 mm )约为未处理试样磨损体积 (10．0l×10 mm )的 1／5。涂层磨损机理 主要为 “微犁沟”的磨粒磨损。 【关键词】 Crl2MoV钢 非平衡磁控溅射 CrMoN涂层 摩擦磨损 EFFECT oFBIAS．VOLTAGE oN W EAR RESISTANCE OF CrM oN COATINGS YuanJunfeng ShiWen LiXiao ZhangJian (SchoolofMaterialsScienceandEngineering，ShanghaiUniversity，Shanghai200072，China) 【Abstract】 CrMoNcoatingswerepreparedonCrl2MoV steelsurfacebyaclosedfield unbalanced sputtering technique under the action of differentbias—voltage． The coated surfaee propertieswerecharacterizedbyXRD，SEM ，microhardnessandweartests．Theexperimentalresults showedthattheCrMoN coatingwascomposedofa fcc structure，which strengthened the coated surfacewithmicrohardnessfrom HV025N1000toHV025N1800anddecreasedthefrictioneoefficiency about0．3～0．35．Thewearvolumeofcoatingspreparedunder60V and75V was2．O1×10一mm after18hours’sliding，whichwasonefifthoftheuncoatedspecimen’S(10．01×10 mm )underthe samecondition．Thewearmechanism actedonthese coatingscouldbedescribedmainlyasabrasive wearwith “micro．scratch”． 【Key Words】 Crl2MoVSteel，UnbalancedMagnetronSputtering，CrMoNCoating，Wear 通常，在冲裁模具的失效形式中磨损失效 占 模具表面改性具有良好 的应用前景 J。前期研究 到90％以上 J，其中，粘着磨损是模具失效的最 表明，Cr基抗磨减摩涂层应用于冷作模具表面对 主要形式之一。随着汽车工业的快速发展，先进 提高模具使用寿命具有很大的潜能 。本文采用 高强度(AHSS)及超高强度钢板 (UHSS)越来越 闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术，通过控制不 受到人们的青睐 』，这对模具质量、服役条件和使 同基体偏压，在传统的冷作模具钢试样表面制备 用寿命提出了全新的需求。研究模具材料的