二氯二氢硅反歧化系统计算机模拟及应用研究.pdfVIP

· 48· 有 色 冶 金 节 能 口新能源 夺 牛‘ 夺‘ 夺‘ 争‘ ’夺 ’ ． 2新能源 ； ‘ ． 寺 ．争 ．争 ．夺 ．牵 ．争 二 氯 二 氢 硅 反 歧 化 系 统 计 算 机 模 拟 及 应 用 研 究 郑红梅 石何武 杨永亮 严大洲 (中国恩菲工程技术有限公司，北京 100038) [摘 要] 本文对二氯二氢硅反歧化反应在热力学上的可行性进行了理论研究；并借助计算机模拟，探讨了不同 温度 、压力和进料配 比对二氯二氢硅在反歧化系统中的转化率 的影响；结合实际生产进一步证实了选择 的生产条 件有利于反歧化反应 的进行 。 [关键词] 多晶硅；二氯二氢硅 ；反歧化；计算机模拟；转化率 [中图分类号]TQ264．1 [文献标志码]A 【文章编号]1008—5122(2015)03—0048一O4 ComputerSimulationandApplicationResearch of DichlorosilaneAnti-dispr0p0rti0nati0n System ZHENG Hong-mei，SHIHe-WU，YANG Yong—liang，YAN Da-zhou Abstract：Thepapercarriesouttheoreticalstudyofthefeasibilityofthethermodynamicfordichlorosilane anti—dispr0p0rtionationreaction；anddiscussestheconversion rateeffectsofdifferenttemperature，pres— sureandfeedratiosonthedichlorosilaneinanti—dispr0portionati0nsystem bymeansofcomputersimula— tion；furtherconfirmstheselectionofconditionsisconducivetotheproductionofanti—disproponi0nation reaction incombinationwithactualproduction． Key words：polycrystallinesilicon；dichlorosilane；anti—disproportionation；computersimulation；con— versionrate 的三氯氢硅 ，从而有效 的利用系统 中的硅 、氯等元 U 月Jl吾 素。 在改 良西 门子法生产多晶硅的工艺 中，多 晶硅 随着科学技术的不断发展，计算机模拟技术 已 还原过程及氢化过程均有副产物二氯二氢硅生成。 被广泛的应用到各行各业 ，而在计算模拟过程 中对 因为二氯二氢硅的性质活泼 ，储存 困难 ，因此需要采 反应机理及反应过程中的热力学模型的选择是获得 用合理的措施对其进行加工处理，而二氯二氢硅的 正确模拟结果 的前提 ；热力学模型 中涉及的热力学 反歧化反应系统就是加工处理方法之一。通过二氯 性质主要有逸度系数 、相平衡常数、焓、熵 、Gibbs自 二氢硅和四氯化硅的反歧化反应获得多晶硅沉积用 由能、密度 、粘度 、导热系数 、扩散系数 、表面张力等 ， 迄今为止 ，还没有发现任何一个热力学模型能适用