硅芯加工刀具冷却方式的改进.pdfVIP

2013年2月 云南冶金 Feb．20l3 第 42卷第 1期 (总第238期) YUNNAN METALLURGY Vo1．42．No．1(Sum238) 硅芯加工刀具冷却方式的改进 和金生，杨杰伟 (昆明冶研新材料股份有限公司，云南 昆明 650031) 摘 要：多晶硅材料是光伏行业中一种重要的原材料，随着光伏行业的兴起，金刚石刀具在硅棒切割中已得 到广泛的应用，试验介绍了加工硅棒中的刀具冷却方式不同造成刀具的损坏 以及产品断裂的原因，通过优化冷却 方式及进行刀具的改进，进而解决刀具在加工过程中的损坏及产品断裂 问题。 关键词：硅 ；金刚石；刀具；冷却 中图分类号：TH161 文献标识码：A 文章编号：1006—0308 (2013)O1-0080—03 TheImprovementoftheCoolingMethodforSiliconW aferCuttingTool HEJin—sheng，YANGJie—wei (KunmingYeyanNew—MaterialCo．，Ltd．，Kunming，Yunnan650031，China) ABSTRACT ：Polysiliconmaterialsisanimportantrawmaterialinphotovohaicindustry，diamondtoolsarewidelyappliedinsilicon rodcuttingalongwiththerisingofphotovohaicindustry；Thecauseofthedamageofsiliconprocessingtoo]andthereasonsofproductfrac— tureresultedfrom differentcoolingmethodsisintroducedinthispaper，andtheproblemsaresolvedthroughoptimizationofthecoolingmeth— odsandimprovementofcuttingtools． KEY W ORDS：silicon；diamond；tools；cooting 硅材料作为一种新兴的光伏材料，广泛运用于 材料如石墨、高耐磨材料、复合材料、高硅铝合金 电子、光伏产业，是发展信息产业和新能源产业的 及其它韧性有色金属材料的精密加工。金刚石刀具 重要基石 。目前随着国内市场 的发展，对多晶硅的 类型繁多，性能差异显著，不同类型金刚石刀具的 需求不断上升，国内多晶硅生产加工技术已突破欧 结构、制备方法和应用领域有较大区别 。PCD是 美 日等国家技术封锁，大部分生产厂家均能 自行生 高温超高压条件下通过钴等金属结合剂将金刚石微 产出合格的多晶硅，国内市场发展较为迅速。 粉聚集烧结合成的多晶体材料，又称烧结金刚石。 现阶段，还原炉沉积用的硅芯一般有两种制备 聚晶金刚石刀具整体烧结成铣刀，用于铣削加工， 方法；一是区熔拉制硅芯，另一种是采用硅棒切割 PCD晶粒呈无序排列状态，属各 向同性，硬度均 法切割硅芯。后期的硅芯主要采用磨削加工，磨削 匀，石墨化温度为550℃。 加工主要考虑到硅材料具有易碎、硬度高的特点以 目前采用的是如图1所示 A刀具进行产品的 及要求的产品纯度高，不能在加工过程中带入其他 钻孔加工。利用该刀具加工出合格的还原炉用硅 杂质影响等因素，当前均采用金刚石刀具对其进行 芯，将硅芯装入还原炉后通电击穿，开始多晶硅产 磨削加工。 品的沉积过程。