纳米AlN粉末的低温热压.pdfVIP

学兔兔 第27卷第5期 粉末冶金技术 Vo1．27．NO．5 2009年 10月 Powder Metallurgy Technology 0et．2009 纳米A1N粉末的低温热压 张春祥 骆俊廷一 李洪波 (燕山大学机械工程学院，亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室，河北秦皇岛 066004) 摘 要： 研究了纳米A1N陶瓷在 1 500～1 700℃的低温热压行为和力学性能。热压温度为 1 600℃时，产物 是13-A1N和 B—A1 O 两相共存；当温度提高至 1 700~C后，热压过程中出现由p—A1N到 一AIN相的转变。随着 热压温度的提高，断裂形式由沿晶断裂逐渐向穿晶断裂转变，致密度逐渐提高，晶粒尺寸长大；当热压温度达 到1 700％时，相对密度为97．3％，晶粒平均直径为850nm，硬度值为15．54GPa，断裂韧度为3．5 MPa-IT] 。 关键词：纳米 A1N；热压；力学性能 Hot press sintering of nano-sized AIN powders at low temperature Zhang Chunxiang，Luo Junting，Li Hongbo (State Key Laboratory of Metastable Materials Science and Technology，College of Mechanical Engineering，Yanshan University，Qinhuangdao Hebei 066004，China) Abstract：Uhrafine nano—sized A1N powders were hot pressed at low temperature of 1 500—1 700 and mechanical properties were investigated．p—A1N and 13-AI2 03 are detected when the hot pressing temperature is 1 600 ．The phase transition B—A1N to d—A1N was discovered at a 1 700~C hot pressing temperature．Relative density and average grain size were increase with the increasing of hot pressing temperature，and fracture form is intererystalline crack at 1 500℃and transcrvstalline crack at 1 700℃ ．Relative density of 97．3％ ．average grain size of 850nin．Vickers hardness of 15．54GPa and fracture toughness of 3．5MPa·m“ are obtained at 1 700℃． Key words：nano-sized aluminium nitride；hot pressing；mechanical properties 随着微电子技术的快速发展，混合集成电路 A1N粉无法满足要求；第二种途径适用于高性能的 (HIC)和多芯片组件(MCM)对封装技术提出了越 块体AlN陶瓷材料的制备，但对于A1N流延成形 来越高的要求；作为电路元件及互连