高纯多晶硅在线制备技术及发展趋势.pdfVIP

2012年 6月 云南冶金 Jun．2012 第41卷第 3期 (总第234期) YUNNAN METALLURGY Vo1．41．No．3 (Sum234) 高纯多晶硅在线制备技术及发展趋势 徐远志 (昆明冶研新材料股份有限公司，云南 昆明 650031) 摘 要：对在线高纯多晶硅生产制备技术——改良西门子法和硅烷法的制备工艺进行了概述，比较了两种在 线技术的优缺点，对两种在线技术的发展趋势进行了展望。 关键词 ：高纯多晶硅 ；西门子法 ；硅烷法 中图分类号：TF89 文献标识码 ：A 文章编号：1006-0308 (2012)03-0075-05 IndustrialPreparationTechniquesofHigh-PurityPolysiliconand ItsDevelopmentTrends