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微位移机构的类型 机械式 液压式 电动式 机械类微位移机构 典型结构有：凸轮、斜面、丝杆螺母、杠杆等 特点：响应较慢、精度不高、结构复杂、制造技术难度大、性能稳定、价格便宜、使用方便、应用广泛。 液压类微位移机构 以液压为动力、弹性膜片为弹性变性元件实现微位移。实际上是一种机械液压复合式的微位移机构。常用于带有液压系统的设备中。 电动类微位移机构 典型结构有：电热、电磁、电致伸缩、压电效应等。 特点：响应快、可实现自动控制。 典型的微位移工作台 平行弹性导轨微位移工作台—利用弹性材料制造微位移元件 电磁控制微位移工作台—改变电流、控制磁力、产生微位移 磁致伸缩微位移工作台—改变磁场强度、产生伸缩、实现微位移 电致伸缩微位移工作台—利用电介质晶体的电致伸缩效应，产生微位移 压电效应微位移工作台—利用压电晶体的压电效应，产生微位移 第六章 复习思考题 1，2，4，5，8，9 题 * 本科生专业课程 第6章 在线检测与误差补偿技术 邓建新 山东大学机械工程学院 2010年10月 依靠所用机床来保证，机床的精度高于所要求的精度，通过购买或研制精密机床来达到目的——即：所谓母性原则。一般零件的加工选用普通机床；超精密零件的加工选用超精密机床。该途径技术难度大、耗资巨大，甚至不可能达到。 保证零件加工精度的途径： 第一节 概 述 在机床精度较低的机床上，利用误差补偿技术提高加工精度——即：所谓进化原则，先天不足后天补。近年来，该原则日益受到重视，各国发展很快。 在精密和超精密加工中，误差补偿技术已成为提高加工精度的重要手段。 误差的隔离和消除，找出误差源，采取措施使误差少产生或不产生。 误差补偿技术。钝化、抵消、均匀化、修正、校正误差，使误差减小。在超精密加工中，误差补偿技术已成为提高加工精度的重要手段。 提高现有设备加工精度的途径 离线检测 在位检测 在线检测——也称主动检测或动态检测 加工精度的检测 加工后，从机床上取下工件，进行检测 只能检测加工后的结果，不能反映加工过程误差的变化。 检测条件好，测量精度高。 检测后发现不合格，需重新安装，会产生定位基准误差。 离线检测 加工后，在机床上不卸下工件进行检测 测量仪器需要安装在机床上，检测条件不好。 只能检测加工后的结果，不能反映加工过程误差的变化。 检测后发现不合格，可进行返修，无须重新安装，可免除重新安装后所产生的定位基准误差。 在位检测 加工过程中同时进行检测 能连续检测加工过程中误差的变化，了解误差的分布和发展，为误差补偿创造条件。 检测结果能反映实际加工情况，费用高。 测量仪器需要安装在机床上，检测条件不好。 会受到加工过程条件的限制，如：传感器的安装、冷却液、切屑状况等。 大多采用非接触传感器，如：激光检测，一般都是自动进行。 在线检测 对在机械加工过程中产生的误差采取修正、校正、抵消、均匀化、钝化、分离等措施，使误差减小或消除。是指对一定尺寸、形状、位置相差程度的补足。 误差补偿概念 通过杠杆将校正尺和母丝杆的螺母连接起来，校正尺的修正曲线使母丝杆螺母作附加微小转动，从而产生微小位移补偿螺距误差——称修正法、或校正法。 人为选择前后轴承的偏心量和偏心方向可抵消一部分偏心误差，提高主轴回转精度 ——称抵消补偿法。 多齿使误差均匀化，可提高精度——称误差均匀化。 可见，误差补偿的形式或方法包括：误差的修正、校正、抵消、均匀化、钝化、分离等。 误差补偿的类型 1. 实时误差补偿 加工过程中，实施进行误差补偿，即：在线检测误差补偿，也称动态误差补偿。特点： 误差补偿精度高； 不仅可以补偿系统误差，而且可以补偿随机误差； 补偿技术复杂，难度大； 实施费用高。 误差补偿的类型 2. 非实时误差补偿，也称静态误差补偿 特点：只能补偿系统误差，不能补偿随机误差。 软件误差补偿：补偿信息是由软件产生 通过计算机对所建立的数学模型进行运算后，发出运动指令，由数控系统完成误差补偿动作。特点： 动态性好，响应快，补偿可随工作状态的变化而即时变化。 补偿信息通过计算机完成，一般是数控系统。 补偿系统结构简单，工作方便可靠。 2. 硬件误差补偿：补偿信息是由硬件产生 特点：只能补偿系统误差。 其它分类 单项与综合误差补偿。 单维与多维误差补偿。 误差补偿系统组成 误差信号检测 误差信号处理 误差信号建模 补偿控制 补偿执行机构 误差信号检测 检测误差出现的状态、数值、方向、规律，确定误差项目，误差产生的原因。误差信号检测是误差补偿的前提和基础。 误差信号处理和建模 进行误差信号处理，去除干扰信号，分离不需要的误差信号； 建立加工误差与补偿控制量之间的关系