制备扫描近场光学显微镜光纤探针自动化腐蚀方法.pdfVIP

第 38卷第 8期 光 子 学 报 VoI．38NO．8 2009年 8月 ACTA PHOTONICA SIN ICA August2009 制备扫描近场光学显微镜光纤探针的 自动化腐蚀方法* 杨永斌 ～，徐文东 ，罗继全 (1中国科学 院上海光学精密机械研究所 ，上海 201800) (2中国科学 院研究生 院，北京 100049) 摘 要 ：提出了一种制备扫描近场光学显微镜光纤探针的 自动化腐蚀方案 该方案利用静态腐蚀过 程中光纤所形成的特殊结构，及动态腐蚀过程中光纤在氢氟酸 中的移动所带来的新月形弯液面在 光纤表面接触位置的变化，通过合理控制腐蚀时间来制备尖端锐利、大锥角或多锥体角等各种结构 的探针．设计方案采用计算机控制整个装置实现 了探针制备过程的 自动化 ，保持 了腐蚀光纤探针实 验条件的一致性．实验结果表明，采用此方案可以制备 出尖端孔径小于 100nm且锥体角高达 7O。 的光纤探针，且重复性高．此外，该方案的装置结构简单 ，实现容易． 关键词 ：扫描探针技术；扫描近场光学显微镜 ；光纤探针 ；化学腐蚀法 中图分类号 ：TH742．9 文献标识码：A 文章编号 ：1004—4213(2009)08—1962—5 0 引言 制备各种锥角的探针 ，但是 ，光纤探针的研磨过程非 常复杂难 以保证制备探针的高重 复性．Yung—Hui 在扫描探针显微技术中，实现了光学衬度的扫 Chuang等提出了用不同溶液 比进行两步腐蚀的方 描近场光学显微镜 已经大量应用于材料科学l_1]、生 法，虽然该方法可以获得较好 的双锥角探针，但没有 物学 ]、纳米光学|3]、纳米制造 等领域．根据探针 考虑获得高重复性探针 的实验条件 ；制作不同锥角 所起作用的不同，扫描近场光学显微镜大致可分为 的探针 ，需要改变溶液 比，实验操作相对麻烦．东南 三类工作模式．第一类，探针作为提供近场照明光的 大学顾宁教授等提出了用虹吸提升法腐蚀制备光纤 照明模式 ；第二类 ，探针作为在近场收集光信号的收 微探针 ，该方法可以获得较高重复性 的单锥体角光 集模式；第三类，探针 同时起照 明和收集作用 的照 纤探针，但是制作多锥体角光纤探针时，由于变换阀 明／收集模式．扫描近场光学显微镜主要的工作方 门受人为因素影响，所 以其重复性相对较差．因此 ， 式是利用探针在近场范围内获取物体表面附近反映 制备尖端锐利、大锥角或多锥体角的探针并提高制 精细结构的非辐射光学信息，再把这些信息组合成 备探针 的重 复性是近场光学显微镜探针研究 的 光学图像 ，其所得图像 的质量取决于光纤探针的结 重点． 构和对尖端与样品之间距离的控制 ¨6]．尖端孔径的 本文基于静动结合的化学腐蚀法提出了一种自 大小 、光传输的效率 以及探针制作的重复性 ，是光纤 动化化学腐蚀方案．该方案考虑了腐蚀过程中影响 探针最重要的技术指标．其 中探针尖端的锥角在很 探针结构的主要因素，提供 了具有较大选择范 围的 大程度上决定 了探针的光传输性能，锥角越大 ，传输 探针制作实验条件 ，以获得不同结构的光纤探针 ，满 率越高，且理论计算和实验均 已证 明针尖锥角在 足不同应用的需要．同时最大程度 的减少了人为因 3o。～5O。之问就可获得理想的光传输率 ]．除了锥 素的干预，保证了在同一实