基于数字全息显微成像微光学元件三维面形检测.pdfVIP

第 卷 第 期 ， ３１ 　 ４ 光 学 学 报 Ｖｏｌ．３１ Ｎｏ．４ 　 　 　 年 月 ， ２０１１ ４ Ａ ｒｉｌ ２０１１ ＡＣＴＡ ＯＰＴＩＣＡ ＳＩＮＩＣＡ ｐ 　 　 　 基 于数 字全息显微成像 的微光学元件 三维面形检测 ， ， ， ， ， １２ １２ １２ １２ １２ 王 云新 王 大勇 ＊ 赵 洁 李 艳 万 玉 红 　 　 　 　 　 　 １ ， 北 京 工业 大学应用数理学 院 北 京 １００１２４ ２ （ ， ） 北 京 工业 大学微 纳信息 光 子 技术研究 所 北 京 １００１２４ ， （ ） 、 摘 要 针对 微 光学元 件 的三维 面形 检 测 提 出 了利 用数 字全息 显微 ＤＨＭ 方法 实 现 全 视 场 非 接 触 式 和 非 破 坏 性 　 。 ， 的快 速 三维定 量 相 衬 成像 首 先 构 建了 无 透镜傅 里 叶变换数 字全息 装 置 通过 对 获 取 的全息 图进行 单 次 快 速 傅 里 ， ， ， 叶逆 变换 实 现数 值 再 现 然后 采 用 两步 相 位 相 减 法 校 正 相 位 畸变 利 用 最 小二 乘 法 获 得 解 包 裹 相 位图 进 而 给 出测 。 ， ， 试 样 本 的 面 形 信 息 实 验 中 对 微 透 镜 阵 列 进 行 了 形 貌 检 测 得 到 其 口径 和 浮 雕 深 度 分 别 为 １．５９５ ｍｍ和 ， ， ２．４２４ ｍ 这 与采 用 白光 干涉仪 获得 的结 果具有 较好 的一致 性 表 明无 透 镜 傅 里 叶变 换 数 字 全 息 显 微 术 应 用 于 微 μ 光学元 件 面形 成像 是可行 和有 效 的 。 ； ； ； ； 关键词 全息 术 无 透镜傅 里 叶变换 全息 相 衬 成像 三维 成像 微 光学元 件