超精密磨削大型光学非球面元件的研究.pdfVIP

第30卷第b期 光电工程 Vol.30.Nok 2003年 12月 文章编号 1003-501X(2003)06-0043-04 超精密磨削大型光学非球面元件的研究 韩成顺，董 申 (哈尔滨工业大学机电学院，黑龙江哈尔滨 150001) 摘要:介绍了加工大型光学非球面的超精密数拉磨削系统，给出了用来生成NC加工软件的加工非 球面时砂轮的中心位置的求解模型，在此墓础上讨论并给出了由砂轮安装产生的砂轮与工件主轴 的偏心误差形成的加工工件面形误差的计算模型，并提出有效的工具路径补偿方法.通过计算机 模拟验证了这种补偿方法的可靠性。 关键词:非球面加工;面形误差;细磨;光学零件加工 中图分类号:TQ17.68 文献标识码:A Studyonultra-precisiongrindingoflargeopticalasphericalelements FLANCheng-shun,DONGShen (DepartmentofMechanicalEngineeringandAutomation,Harbin InstituteofTechnology,Harbin150001,China) Abstract:Anultra-precisionNCgrindingsystemusedformachininglargeopticalasphercialelementsis introduced.Asolvingmodelforgeneratingcentralpositionofagrindingwheelwhenmachining asphericalopticalelementswithNCmachiningsoftwareisgiven厂Amodelforcalculatingmachined surfaceshapeerrorformedbythede-centralerrorbetweengrindingwheelinstallationandworkpiece spindleisdiscussedandgiven.Aneffectivecompensationmethodfromtoolwayisproposed.Computer simulationdemonstratesthereliabilityofthiscompensationmethod Keywords:Asphericprocessing;Surfaceshapeerror;Lapping;Opticalelementprocessing 引 言 由于非球面光学元件的优越性，已广泛应用于航空、航天、国防等工业。特别是在近代大型望远镜、 激光核聚变、宇宙探测等系统中，大型光学非球面元件具有球面无法替代的作用。另一方面，由于高能量、 短波长的成像处理需要，提高光学元件的精密度成为首要的前提。因此，对大型精密光学非球面元件的质 量、数量提出了更高的要求。然而，大型光学非球面元件的制造面临着难度大、效率低、成本高等难题。 随着机械制造业的飞速发展，一种新的加工硬脆光学材料的方法一超精密磨削技术，可克服研磨抛光加工 法的低效率、高成本等缺点t1-31，在高刚度超精密机床上，由数控装置控制经过精密修整的金刚石砂轮的运 动，使其包络成所加工的非球面，可得到没有裂纹的光滑表面。本文以加工凹非球面为例，给出数控加工 大型光学非球面元件的几何模型。 由于超精密机床具有良好工件与工具之间的动态刚度，并采用恒温防震等系统，减少了运动产生的误 差。因此砂轮的形状精度与砂轮的定位误差成为影响非球面加工精度的主要因素。而砂轮的形状精度可以 通过砂轮磨削点连续变化的加工方式以及在线修磨得到保证，已经有不