第21节 涤脍十,十一章 XPS和AUS 3.pptVIP

第十二章 X射线光电子能谱分析 ;1. 发展概况;2．基本原理;光电效应;光电发射定律 ;光电发射定律;光电发射定律;弛豫效应;同种原子处于不同化学环境而引起的电子结合能的变化，在谱线上造成的位移称为化学位移。 化学环境不同有两方面含义： 一是指与它结合的元素种类和数量不同； 二是指原子具有不同的价态。 ;化学位移的解释：分子电位--电荷势模型;化学位移与元素电负性的关系;化学位移与原子氧化态的关系;3. X射线光电子能谱仪;光电子能量分析器;4. 实验方法;5. XPS谱图分析;XPS谱图;XPS谱图;光电子线及伴峰;光电子线及伴峰;光电子线及伴峰;XPS谱图元素定性分析步骤：;样品中元素分布的测定;6． X光电子能谱的应用;范例：半导体方面的研究;第十三章 俄歇电子能谱 ;1．俄歇过程理论;1.1 俄歇电子的能量;1.2 俄歇电子的强度;1.2 俄歇电子的强度;1.2 俄歇电子的强度;初级探针系统 能量分析系统 测量系统;2.1 初级探针系统;2.2能量分析器及信号检测系统;俄歇电子有很强的背底噪音.;俄歇谱图的形式;;1、? 逸出深度范围小 1nm 2、? 空间分辨率小 10nm 3、? 和离子刻蚀结合可以分析深度成分分析 4、? 要求高真空。 5、? 定量分析不是很准确。?;1）根据最强的俄歇峰能量，查《俄歇电子能谱手册》，确定元素。 2）标注所有此元素的峰。 3