太阳能工艺需求.ppt

产品简介-----铸锭/拉晶 产品简介-----铸锭/拉晶 产品简介-----太阳能电池 产品简介-----组件 工艺流程-----太阳能电池 工艺简介-----太阳能电池 工艺流程-----组件 生产环境及其它 25兆瓦电池和组件线的动力用量 动力质量 主要原材料 完 2008.02 EDRI 太阳能电池铸锭工艺流程图 去头尾 入料清洗 开方 铸锭 出料 倒角 测试 清洗 线切 MB/HCT/NTC 2台 240万片/年 线切机 HCT/MB/NTC 7台 216T/Y 开方机 GTi/KR/ALD 20台 73.5T/Y 铸锭炉 备注 数量 产能 设备 设备工艺表 种类：主要产品包括4、5、6英寸的单晶硅和多晶硅太阳能电池。 工作原理：太阳能电池是一个由光能转为电能的半导体装置，从工作原理上来讲，太阳能电池是一个大面积的二极管，当太阳光入射到电池表面时，晶体硅材料吸收光能而产生电一空穴对，电子和空穴分别向P－N结的结区运动，由结区电场分离从而分别进入电池的N型处（负极）和P型处（正极）。此时，如果太阳能电池如与一负载连接，将产生回路并向负载供电。 种类：主要产品包括单晶硅和多晶硅组件，单块组件功率从1峰瓦到240峰瓦的多种规格系列 。 工作原理：太阳能电池组件是将多片晶体硅太阳能电池串联安装起来，并加装旁路二极管等器件，辅助完成对太阳能的转化、收集和储存功能。 太阳能电池生产工艺流程图 分类检测 扩散前酸洗 硅片受入 制绒 超声清洗 烧结 PECVD 烘干 丝网印刷 磷扩散(PN) 甩干 去PSG(HF) 等离子刻蚀 出货 包装 DISPATCH 4台 1200片/小时 烧结 ASYS/BANNINI 4台 1200片/小时 印刷机 岛津/ROYSROLL/四十八所 4台 800~1300片/小时 PECVD 四十八所/致胜 16台 300片/小时 刻蚀机 捷佳创/七星/瑞纳 4台 1200片/小时 扩散后清洗 四十八所/七星/TYSTAR 9~10台 500~600片/小时 扩散炉 捷佳创/七星/瑞纳 4台 1200片/小时 扩散前清洗 备注 数量 产能 设备 工艺流程-----太阳能电池工艺设备表(100MWA) 制绒：单晶硅的制绒工艺是通过NaOH和乙醇反应，在硅片上形成减反织构，增强电池对光线的吸收能力。多晶硅的制绒工艺是加入铬酸和氢氟酸，利用铬酸的强氧化性将切割后硅片上的污物清除，并产生SiO2和C2O3，达到在硅片上形成减反织构的目的。 (制绒清洗机产能一般1200/片;杰佳创200RMB;瑞纳100万欧元;七星华创等) 等离子化学气相沉积(PEVCD)：PEVCD被使用来在硅片上沉积氮化硅材料，是在300-900℃的温度下通过化学反应产生Si3N4的过程。典型的化学反应为：SiH4 + NH3 → Si3N4 + NH3 + N2 (板式PECVD日本岛津800片/小时;德国RORCEROLL 1300片/小时;以上维护费30~40万/月;四十八所管式PECVD, 8管,150片/管;基本无维护费;) 丝网印刷：该工序是通过丝网印刷机将银浆或银铝浆等导电材料印刷在硅片上，作为太阳能电池电子导通的主要通道。(GERMAN ASYS ;ITALY BANNINI;产能1200片/小时;$100万) 烧结：该工序通过高温合金的过程，使硅片上的电极连接在一起。 (DISPATCH;$30万) 其它：如清洗、扩散、刻蚀、去PSG(HF) 等工艺与半导体芯片制造相似。 刻蚀机:台湾致胜 1200片/小时 (干式泵);48所 300~400片/小时(湿式泵) 太阳能组件生产工艺流程图 最终检测 中测 划片 层叠 焊接 接线 装框 装配 接线盒 层压 铝边框打胶 固化 割边 包装 清洁 入库 电 1φ220V或3φ380V 17720KW(设备系数0.55) 给水排水 纯水 100m3/h 冷却水 516m3/h 排水 52 m3/h(设备系数0.55) 气体 氧气/氩气 69.2m3/h/150m3/h 氮气 760 m3/h(设备系数0.5) 压缩空气 3500m3/h 真空 540m3/h 排风 热、一般排风 100000m3/h 酸碱排风 60000m3/h 有机排风 30000 m3/h 太阳能电池生产最主要的材料是单晶硅片或多晶硅片。其它辅料包括NaOH和乙醇 （单晶硅）、铬酸和氢氟酸 （多晶硅）、腐蚀济、氢氟酸 、银浆或银铝浆、特气（SiH4、NH3 、C2F6、CF4等）、大宗气体（氮气、氧气）等。目前技术为5寸片可达2.0~2.5瓦/片，按一条线产能25MW/年计算，100MW年需要硅片至少4000万