不透明薄膜厚度的光干涉法测量以及台阶的影响.pdfVIP

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2017-05-20 发布于浙江
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不透明薄膜厚度的光干涉法测量以及台阶的影响

DOI:10.13385/j.cnki.vacuum.2007.05.014 第卷第期 99 : ? E@-99+CE-: 年月真空 ?x@AAB ;= DB;-;= 不透明薄膜厚度的光干涉法测量以及台阶的影响戴华沈耀周红 + + 上海交通大学材料学院上海上海交通大学物理系上海 (- + ##.#/ - + ##.#* 摘要提出使用数字拍摄光干涉条纹使用图像处理软件进行灰度值扫描分析光干涉条纹的方法对 ! 001 + + 不透明薄膜进行光干涉法测厚数字和图像处理软件的结合使用能够最大限度的降低目测带来的误差 , 001 + 并且也避免了使用复杂的干涉条纹提取算法可以方便准确地对不透明薄膜进行光干涉法测厚同时我们 + 2 , 使用光干涉法和轮廓仪法对不同高度遮挡物形成的台阶进行了对比测量分析了不同台阶边缘斜坡对于光 + 干涉法测量结果的影响指出在制备台阶时遮挡物的高度必须满足一定的条件并且根据这个条件推导出在 + + 我们的磁控溅射设备中遮挡物高度小于可以得到满足光干涉法测厚条件的台阶 + 3#45 , 关键词膜厚测量光干涉法数字化测量台阶制备 ! / / / 中图分类号! .8 文献标识码! 文章编号!##%#8(##$*#3%###)%#3 67 9 :;=?@=ABCDBCEFBCGDECH=IABJJFB?JKCBFBAEDE;?LKBH=AD=@FJ?AMHB =AD@KBABEDJB;D?NC=?=EA + + 19OPQR SPTU VRW XPYZ PW[\ (- + + ###8#+ ]^_‘‘a‘b cdefghdai]^hfj^fdjk ljmhjffghjm ]_djm_dhnhd‘o‘jm pjhqfgiher ]_djm_dh / - +