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微流体驱动与控制技术研究进展前言9 K C V: {% x* `, A2 ~) N$ @. x随着微流体系统，尤其是生物芯片和缩微芯片实验室（Lab-on-a-chip）技术的发展，微米乃至纳米尺度构件中流体的驱动与控制技术越来越引起人们的注意。微流体系统是微电子机械系统（MEMS）的一个重要分支，是构成大多数微系统中感应元件和执行器件的主要组成部分，也是MEMS发展需要解决的关键技术之一。另一方面，微流体驱动与控制技术的发展也严重影响着微流体器件的进一步小型化和性能的改进，后者反过来也促进了微流体驱动与控制技术的发展。微流体驱动和控制技术的研究已逐渐成为MEMS研究的一个热点。, v9 @; v0 B5 a8 u# W h* A4 g微流体的驱动与控制和宏观流体的驱动与控制有很大的不同，这主要是由于当尺度减小时，流体的流动特性发生了变化，这种流动特性的变化使得宏观流体驱动与控制技术在微流体中的简单移植往往不成功。微流体的驱动与控制技术更为复杂和多样化，不仅可能出现不同于宏观流动的规律，而且许多在宏观流动中被忽略的因素，将成为主要的影响因素。这里，有必要首先对微流体驱动中的流体力学问题做个简要的分析。. j2 i, ~9 g9 }( r( [% `4 n5 T: K ~+ e2、微流体驱动中的流体力学问题# P% {0 @5 F5 \# a??I- f2 I* ]8 p在微尺度流动中，当特征尺度接近微米量级时，流体的流动特性，与宏观相比，发生了很大的变化，基于连续介质的一些宏观概念和规律就不再适用，粘性系数等概念也需重新讨论。由于尺度的微小，使原来的各种影响因素的相对重要性发生了变化，从而导致流动规律的变化。! B6 O??z, W* t. _2.1 尺度效应尺度的减少使得微流体的流动发生了一些不同于宏观流动的变化。这种尺度效应主要表现在两个方面。一方面，当流动的特征尺度减少到微米时，支配流动的各种作用力的地位发生了变化，原来宏观流动中的主导作用力地位下降，而在宏观流动中居次要地位而通常被忽略的作用力的地位则上升而成为微流体流动的支配作用。这一点主要表现在体积力和表面力上。当流动的特征尺度小于毫米量级时，表面力的作用就超过了体积力。另一方面，随着构件的特征尺度减少到微米乃至纳米量级，微流动中出现了一些经典连续介质模型目前无法解释的现象。液体微流动表观黏度与体积黏度不一致的现象就是其中的一个例子。一方面，微流体的流动特性与管道的材料和几何形状有关。例如玻璃圆截面管道和硅梯形管道的流动特性就不同，前者与无滑移边界条件的Navier-Stokes方程预测的结果吻合得很好，而后者则偏离了经典理论的预测。另一方面，微流体的流动行为与流体的微观组成有关，如极性和非极性液体微流动中表观黏度的表现就不同。与此相关的各种效应并没有包括在经典的Navier-Stokes理论中，但可能对微流动行为产生较大的影响，如分子旋转产生的微转动效应在处理聚合物或聚合物的悬浮微粒时就很重要。以上这些现象的解释，还有待于实验技术的改进和新的理论模型的提出。2.2 表面效应 I5 y) _: C: `8 O$ r当尺度减小时，微流体器件的表面积/体积比大大增加，表面积与体积之比值可达百万倍之大，这更加强化和突出了表面力和其它表面效应的作用。例如：一特征长度是1m的机械，其表面积/体积比为1m-1；而一特征尺度为1μm的微流体器件，相应的比为106m-1。也就是说，微流体器件的表面积/体积比约为常规机械的上百万倍，这大大影响了质量、动量和能量在微流体器件表面的传输。很明显，表面效应将会在微小器件中起主要作用。例如，由于表面积/体积比大，微管道流体的辐射和对流传热速率大大提高；液体相对固体表面的润湿性会严重影响微流体的流动，表面张力甚至可以成为驱动微流体流动的一种机制等等。对这些表面效应的研究是微流体驱动和控制技术发展以及解释微流体流动现象迫切需要的。# }0 R7 D7 r8 K! p( O; U随着尺度减小时，在宏观流动中常被忽略的一些表面力将出现一些新的现象，这些表面力包括液体的表面张力、粒子电离后产生的库仑力、分子极化产生的范德华力、空间位形力等。这些力都来源于分子间的相互作用力，从本质上说它们都是短程力（1nm），但其积累效果可达0.1μm的长程。一般情况下，这些力可利用作用力的经验或半经验定律来计算。9 m2 A# X$ s+ f0 p M- P3 R+ A) I, \# p) a/ |) A1 f: o# A3、微流体驱动和控制技术) j. U; ~7 n6 S# t0 S% p# y/ a4 H K目前，微流体的驱动和控制技术种类很多，采用的原理和形式不尽相同。如按原理来分，可分为压力驱动、电水力驱动、电渗驱动、热驱动、表面张力驱动、离心力驱动等；根据