魏彦锋-磁控溅射原位退火法制备氧化锌薄膜及其输运性质的研究-贾天明.doc

湖北文理学院2015年大学生创新创业训练 项目申报书 项 目 名 称 磁控溅射原位退火法制备氧化锌薄膜及其输运性质的研究 （）创新训练项目（）创业训练项目（）创业实践项目 指 导 教 师 魏彦锋 申 报 日 期 2015年4月15日 湖北文理学院教务处 二〇一五年四月 填?写?须?知 项目名称 磁控溅射原位退火法制备氧化锌薄膜及其输运性质的研究 ????2015?年月????至年月 姓名 年级 学院 学号 联系电话 E-mail 贾天明 大一 物电 常??毅 物电 王再兴 物电 张??恒 物电 指导教师 姓名 魏彦锋 职务/职称 讲师 所在单位 湖北文理学院物理与电子工程学院 E-mail yfwei@ 校外导师 姓名 职务/职称 所在单位 联系电话 E-mail 一、自身及团队具备的知识： 经过一年学习，我们学了 自身及团队具备的条件： 自身及团队具备的特长、兴趣： 在前期准备阶段，我们团队通过网络资料和文献查询、与指导教师交流，以及实地考察研究实验室及实验设备等活动，对项目的研究内容及研究方案进行了探讨，为项目的开展进行做好了理论知识及相关实验前期准备。下面两张附图是前一项目所制备ZnO薄膜XRD和透射率结果。 图一. ZnO薄膜XRD结果，峰值在34.34度，对应（002）面的衍射，表明薄膜是很好的外延生长 图二. ZnO薄膜透射率结果，可见光波段透射率在90%以上，紫外段强烈吸收，透射率3%以下，吸收陡峭处对应波长375 nm，推算材料能隙3.3 ev 三、项目方案（计划、技术路线、人员分工等） ?研究计划： 本项目计划研究以下内容： 技术路线： 项目人员分工： 职 位 主 要 工 作 内 容 负责人：贾天明 组织协调小组工作，设计实验方案，理论分析。 组?员：常??毅 组 员：王再兴 组 员：张??恒 四、项目特色与创新点 五、项目进度安排 、项目准备阶段（—2015.06） （）收集和学习项目相关的文献和资料，主要包括：薄膜电输运测量的方法及现有结果，退火研究的结果； （）?结合前期调研结果，制定项目更详实得实验方案和研究内容； 、项目实施阶段?（—2016.02） ????? （）（）测量样品电输运特性，获得电导率、载流子浓度和类型等相关信息（）、项目总结阶段（—2016.05） 六、项目经费使用计划（要求说明项目经费） 七、项目完成预期成果（论文级别、专利、设计、产品、服务；创新实践项目需说明公司规模、营业额等） 指导教师意见： 特推荐申报。 签 名： 魏彦锋 2015年 4 月 15 日 学院意见： 学校意见： 9 采用不同退火参数，溅射薄膜 调整退火参数重复试验 根据结果总结规律