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MEMS 传感器现状及应用 王淑华 (中国电子科技集团公司 第十三研究所, 石家庄　0500 51) :M EM S 传感器种类繁多, 发展 猛, 应用广泛。 首先, 简单介绍了M EMS 传感器的分类 和典型应用。 其次, 对M EMS 压力传感器、 加速度计和陀螺仪三种最典型的M EM S 传感器进行 了详细阐述, 包括类别、 技术现状和性能指标、 最新研究进展、 产品, 及应用情况。 介绍 MEM S 压力传感器时, 给出了国内外采用新型材料制作用于极端环境下压力传感器的研究情况。 最后, 从新材料、 加工和组装技术方面对MEM S 传感器的发展趋势进行了展望。 :微电子机械系统 (M EMS );传感器;加速度计;陀螺仪;压力传感器 :TH703 　:A 　:1671-477 6 (20 11)08-0516-07 Current Status and Applications of MEMS Sensors Wang Shuhua (Th e 13th R esearch I ns titute, CE T C, S hij iaz huang 0500 51, Ch ina) Abstract:MEMS sensors feature great varieties, rapid development and w ide applications.Firstly, the categories and typical applications of M EMS sensors are introduced briefly .Then three typi- cal M EMS sensors, i.e.the pressure sensor, accelerometer and gyroscope are illustrated in de- tail, including the subdivision, current technical capability and performance inde , latest research progress, products and their applications.Besides that, the research status of the M EM S pres- sure sensor using new materials for the e treme environment at home and abroad is presented. Finally, development trends of M EMS sensors are predicted in term s of new materials, proces- sing and assembling technology. Key words:microelectromechanical sy stem (M EMS );sensor;accelerometer;gyroscope;pres- sure sensor DOI:10.39 69/j.issn .1671-477 6.20 11.0 8.00 8 　　EEACC:2575 , M EMS , 0 　引　言 。 、 、 、 MEM S M EMS , , M EMS 。 。 1962 , 、 MEM S , M EMS , MEM S 、 、 。 M EMS 、 、 、 :2011-04-06 E-mail:1117shuhua @163.com 516 M icronanoelectron i