TFTLCDMura缺陷机器视觉检测方法毕昕.pdf

第 46 卷第 12 期 机 械 工 程 学 报 Vol.46 No.12 2 0 1 0 年 6 月 JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING Jun. 2 0 1 0 DOI ：10.3901/JME.2010.12.013 TFT-LCD Mura 缺陷机器视觉检测方法* 毕 昕 丁 汉 (上海交通大学机械与动力工程学院 上海 200240) 摘要：针对液晶显示器(Liquid crystal display，LCD)制程中 Mura 缺陷检测的重要性和人工检测的弊端，研究 TFT-LCD Mura 缺陷的机器视觉自动检测方法。基于国际半导体设备与材料组织(Semiconductor Equipment and Materials International，SEMI) 标准中 Mura 缺陷的测量规范和 LCD 视觉检测试验平台，针对 Mura 缺陷边缘模糊、对比度低、图像中存在重复纹理背景和 整体的亮度不均匀等特点，分别研究基于实值 Gabor 小波滤波的纹理背景抑制方法、基于同态变换和独立分量分析的亮度不 均匀校正方法、基于主动轮廓模型和水平集方法的缺陷分割以及基于 SEMI 标准的缺陷量化方法，综合几个方面的研究，建 立 Mura 缺陷自动检测流程。检测试验证明，所提出方法能较好地抑制纹理背景、校正背景亮度不均匀和莫尔条纹，准确的 分割缺陷并进行量化评定。该方法适用于 Mura 缺陷的自动检测，检测方法与人的视觉特性相似，具有较好的鲁棒性。对于 50 个带有 Mura 缺陷的 LCD 样本，有 48 个样本被成功检测。 关键词：Mura 缺陷 Gabor 滤波 独立分量分析 主动轮廓模型 水平集 中图分类号：TP274.3 Machine Vision Inspection Method of Mura Defect for TFT-LCD BI Xin DING Han (School of Mechanical Engineering, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai 200240) Abstract ：The automatic machine vision inspection way is studied for the Mura defect of TFT-LCD, aiming at the importance of defect inspection and the shortcoming of manual inspection in liquid crystal display (LCD) process. Mura is local lightness variation with low contrast, blurry contour, uneven brightness and textured background. Based on the Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI) standard for Mura and the LCD vision inspection platform, the inspection algorithms are researched, including the textured background suppression method using real Gabor filtering, the adjustment of brightness unevenness with homomorphic transform and independent component analysis, the Mura segmentation using active contour model and level