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高功率激光反射镜的几个关键技术 北京锦坤科技有限公司 ( 中国科学院光电技术研究所, 成都双流350信箱, 610209) 摘 要 分析了制作高功率连续激光反射镜材料的热性能、缺陷及其加工工艺, 提出了制作高功率激 光反射镜应考虑的几个关键问题: 反射镜材料的综合热性能比值S , 材料的微观结构、缺陷的大小和晶向的 选择, 以及加工工艺的设计。并介绍了实验结果。 关键词 反射镜 热性能 缺陷 粗糙度 中图分类号 TN 244 高功率连续激光反射镜( 以下简称反射镜) 是高能连续激光系统中的主要光学元件, 其质量的好坏, 直 接影响着高能激光系统的性能。过去, 人们只注意研究如何提高反射镜的反射率, 单纯依靠表面镀膜层的好 坏来衡量反射镜的好坏。随着高能连续激光技术的飞速发展,激光系统中的反射镜承受着越来越高的功率密 度, 传统的材料和表面质量标准已不能完全适应于高能连续激光系统的需要。在现在以及今后的高能连续 激光系统中, 制约着反射镜性能的因素已不单是反射率, 它还包括制作反射镜材料的热性能、微观结构、缺 陷、晶向以及加工工艺等。而这些因素, 不仅在过去, 就是现在也往往被我们的设计者及加工者所忽视。因 此,本文将重点分析这些因素对反射镜的影响。 1 反射镜的材料 1. 1 材料的热性能 反射镜在传输高能激光束时将吸收一定的能量, 这部分能量转化为热能, 由于反射镜材料的热膨胀、局 部热应力以及反射镜固定时的机械应力等原因, 从而使镜面产生形变, 影响光束的传输质量, 严重的甚至 使反射镜炸裂, 使系统不能有效地进行工作。鉴于此, 高能激光系统中使用的反射镜, 要求其工作时表面形 变应在许可的范围以内。机械应力产生的形变可以通过反射镜固定方式优化处理, 从而将其控制在允许范 围以内; 局部热应力产生的形变远远小于热膨胀的形变, 故可忽略不计[ 1 ]。这里我们仅考虑反射镜材料的 热膨胀产生的形变。当激光均匀或集中辐射到反射镜表面时, 根据热传导的数学理论可知, 固体中某个表面 的热流通量与局域温度的梯度成正比, 即: 式中K为材料的热导率, φZO 为通过固体表面的热流通量。 反射镜热膨胀产生的形变正比于温度和热膨胀系数, 即: 式中 dx 为反射镜表面的局域形变, 为反射镜材料的热膨胀系数, dT 为反射镜表面的局域 温度。 将(2) 式代入(3) 式可得 式中 为反射镜材料的综合热性能比值。 由(4) 式知, 反射镜表面的热形变与其材料的综合热性能比值S 成正比, 在吸收热能及反射镜尺寸相 同的前提下, 反射镜表面热形变的大小要由材料的综合热性能来确定, S 值越小,反射镜表面的热形变就越 小。表1列出了国内现有的几种材料的有关热性能参数[ 2, 3 ]。 通过表1中的参数对比我们发现, 硅、钼和铜等材料的综合热性能比值S 较小, 而K9玻璃、派勒克斯(Pyrex) 和石英玻璃的S 比值就比它们大得多。根据(4) 式, 在吸收相同热流通量的条件下, 用表1中所列的前三种 材料作反射镜, 其表面热形变将比用硅、钼和铜等材料作反射镜大一、二个数量级。有鉴于此, 在仅考虑反 射镜表面热形变的情况下, 用硅、钼和铜等材料作反射镜是比较理想的。在激光束的功率密度较低时, 也可 选用石英玻璃, 但用K9 、派勒克斯玻璃或与其参数相近的材料作反射镜则是不现实的。图1所示的就是K9 玻璃反射镜被强激光束打裂的情形。 1. 2 材料的结构、缺陷及晶向 通过上述材料的热性能分