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2005 33 4 59
: 1005) 0329( 2005) 04) 0059 ) 03
高级别洁净室气流组织的优化
, ,
( , 300072)
: CFD ( FFUs) ISO5 ,
, , FFU
, , FFU
: ( CFD) ; ; ;
: TU834. 8 : A
Optimization of Airflow in High Cleanliness Level Cleanroom
ZHAO Jin-lian , LIU Jun-jie, ZHU Nen
(Tianjin University, Tianjin 300072, China)
Abstract: By CFD technique, the velocity fields of a ISO class5 cleanroom with FFU air- conditionin system was simulated and its per-
formance was analyzed, theoretical formula is applied to ain the cleanliness. The result shows that selectin proper location of FFUs, ap-
propriate mode of outlet and hi h level terminal filter, hi her cleanliness level can be obtained in spite of lower covera e rate.
Key words: computational fluid dynamics; clean room; fan filter uints; covera e rate
1 ,
[ 1]
,
( CFD) ,
, ,
, , ,
,
CFD , k- E, k- E
ISO5 ,
[ 2]
, :
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