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第13章 湿敏传感器及工程应用 第13章 湿敏传感器及工程应用 13.1 湿度检测概述 13.2 电阻式湿敏传感器 13.3 电容式湿敏传感器 13.4 集成湿敏传感器 13.5 湿敏传感器工程应用案例 返回主目录 13.1 湿度检测概述 湿度与工农业生产、国防、科研以及人类的日常生活息息相关，随着人类的进步和发展，湿度的重要性也越发凸显。为了保证生产设备处在良好的环境中，对空气湿度进行测量及控制，使环境适应工农业生产的需要是今后发展的必然。 13.1.1 湿度的描述方法 湿度一般是指大气中水蒸气的含量，通常用绝对湿度和相对湿度来表示。有时也用比湿和露点来表示。 1. 绝对湿度 绝对湿度是指在一定的温度条件下，单位体积气体中所含水蒸气的质量，单位是g/m3。一般用符号AH表示。 2. 相对湿度 相对湿度是指被测气体的绝对湿度和同一温度条件下达到饱和状态的绝对湿度之百分比，一般用符号RH表示。 由于水的饱和蒸气压是随着温度的降低而降低的，当温度下降到某一温度时，其水蒸气压与同温度下的饱和蒸气压相等，此时空气中的水蒸气将向液态转化而凝结为露珠，此时相对湿度为100%，这个特定的温度就称之为露点。 13.1.2 湿度的测量方法 因为水分子具有较大的偶极矩，易于附着并渗透固体表面的特性。而有些固体材料被水分子附着后，其性能要发生明显的变化，并且这些性能的变化与湿度大小有关。利用材料的这些特性制作成湿敏元件，就可对空气湿度进行测量。 电阻式湿敏传感器 电阻式湿敏传感器实际是一个利用水分子附着并渗透后，其电阻率和电阻值都发生变化的特性制作而成的器件。为了便于水分子附着，它上面有一层用感湿材料制成的膜。当空气中的水蒸气吸附在感湿膜上时，该器件的电阻率和电阻值都发生变化，所以人们又把它叫作湿敏电阻。 13.1.3 湿敏传感器及分类 用来检测空气中湿度大小的传感器叫做湿敏传感器。湿敏传感器的品种繁多，按其结构分类，可分为电阻式、电容式和其他式三类。 2. 电容式湿敏传感器 电容式湿敏传感器实际是利用水分子附着并渗透后，它的电容量就发生变化的原理制作而成的器件。为了便于水分子附着，它上面也有一层用感湿材料制成的膜。当环境湿度发生改变时，它的介电常数就发生变化，从而使其电容量发生变化。所以人们又把它叫作湿敏电容。 3. 其他式湿敏传感器 其他式湿敏传感器是除了电阻式和电容式以外的所有湿敏传感器，比如光纤湿敏传感器、超声波湿敏传感器、微波湿敏传感器及集成湿敏传感器等。 由于湿度的检测比其他物理量的检测要困难得多。下面仅介绍几种目前发展比较成熟的湿敏传感器。 氯化锂湿敏电阻是利用吸湿性盐类潮解，离子电导率就发生变化的原理而制成的测湿元件。它由引线、基片、感湿层、金电极4部分组成，图13?1(a)是它的结构示意图。 图13-1(a) 氯化锂湿敏电阻结构示意图 13.2 电阻式湿度传感器 13.2.1 氯化锂湿敏电阻 1. 测湿原理及结构 通常氯化锂和聚乙烯醇组成混合体，它的特点是： ① 在氯化锂（LiCl）溶液中，Li和Cl均以正负离子的形式存在，而Li+对水分子的吸引力强，离子水合程度高，其溶液的导电能力与溶液中离子数量成正比。 ② 当氯化锂溶液置于一定温湿场中，如果环境的相对湿度高，则溶液将吸收水分，使溶液中离子数目增多，导电能力增强，故溶液的电阻率降低。如果环境的相对湿度低，则溶液中离子数目少，其电阻率增加。 2. 湿敏特性 湿敏电阻的湿敏特性是指它的电阻值与相对湿度之间的关系特性。氯化锂湿敏电阻的湿敏特性曲线如图13?1(b)所示。 图13-1(b) 氯化锂湿度——电阻特性曲线 由图可知，在50% ~80%的相对湿度范围内，氯化锂的电阻与相对湿度成线性关系。为了扩大线性范围，通常采用将多个氯化锂含量不同的器件组合使用。 如将线性测量范围分别为（10%~20%）RH、（20%~ 40%）RH、（40%~70%）RH、（70%~90%）RH和（90%~99%）RH五种元件组合使用，就可完成整个湿度范围内的相对湿度测量。 氯化锂湿度敏感元件具有滞后小、不受测试环境风速的影响、检测精度高达±5%等优点，其缺点是耐热性差、不能用于露点以下测量、器件性能重复性差、使用寿命短。 13.2.2 陶瓷湿敏电阻 陶瓷湿敏电阻的主要元件是多孔陶瓷，它是用两种以上的金属氧化物混合烧结而成的。这些多孔陶瓷的电阻率有的随湿度增加而减小，有的随湿度增加而增大。通常把电阻率随湿度增加而减小的称作负特性，把电阻率随湿度增加而增大的称作正特性。目前，用多孔陶瓷制成的典型陶瓷湿敏电阻主要有下面几种。 1. MgCr2O4-TiO2陶瓷湿敏电阻 MgCr2O4-TiO2陶瓷湿敏电阻的主要元件是由MgCr2O4-TiO2烧结而成的多孔半导体陶瓷片。它的气孔大部分