UPW(纯水系统).ppt

UPW(纯水系统) 讲解人：方青 引言 UPW是服务生产工艺的一部分,另外还有CDS、特气、大宗气体等。 超纯水的制程随原水水质而有不同的方式，主要是去除水中的不纯物，如微粒子、有机物、无机盐类、重金属及生菌等 主要用途（GMIC） 超纯水主要供集成电路芯片生产的清洗用水，且用量较大。另外还提供一些生活用水，以及PCW（工艺冷却水系统）、膨胀水箱、加湿器等都会用到不同程度的纯水。 为了满足工艺设备对水质的要求，必须考虑输送材料、流速、合理的输送系统的设计 Typical Components of a Semiconductor UPW System 纯水系统的组成单元 MMF和AC RO UF MB EDI POLISH UV 脱气塔 以下介绍各部分的作用 MMF和AC MMF(多介质过滤器)和AC（活性炭过滤器）是作为RO的预处理，对RO膜起保护作用。 预处理原水首先加入絮凝剂和混凝剂，可以降低浑浊度（使微小颗粒凝聚变大，重力沉降有助于过滤）,去除悬浮物和胶体等杂质。 加入NaHSO3去除余氯（将氯还原），防止RO膜被氧化，活性炭也有吸附余氯的作用。 为了提高出水质量和加强对RO膜的保护，现在通常用UF作为预处理 。