大气压氩气微放电通道中电子激发温度时间演化.pdfVIP

第54卷第5期2005年5月 物理学 报 1000．．3290／2005154(05)／2167．．05 AC7IAPHYSICASINICA ⑥2005 Chin．Phys．Soc． 大气压氩气微放电通道中电子激发温度 的时间演化* 董丽芳+ 冉俊霞 毛志国 (河北大学物理科学与技术学院，河北保定071002) (2004年7月13日收到；2004年8月4日收到修改稿) 利用双水电极介质阻挡放电装置，采用光谱方法测量了大气压氩气介质阻挡放电微放电通道中的电子温度的 S3)的氩原子谱线进行了时间分 时间演化．选取波长为696．54nm(2P2—1s，)，763．51nm(ZP6—1s；)，772．42nm(2P2—1 辨测量．实验发现在放电期间，电压波形开始下降，在放电熄灭后又开始上升．高能级为2P2的跃迁(772．42nm和 化，结果表明，电子激发温度并不是一个恒定值，而是随时间变化的．当放电电流达到最大值，即电子密度达到最大 值时，其电子温度并未达到最大值，而经过200ns后才达到最大值． 关键词：大气压介质阻挡放电，发射光谱，电子激发温度，微放电通道 PACC：5280P，5270，0765 谱；文献[6．8，9]研究了微放电的时间特性．但是对 1．引 言 于微放电中电子温度随时间的演化还未见报道．而 电子温度是等离子体中重要的参数，其对于等离子 介质阻挡放电(DBD)又叫无声放电，是一种典体的过程研究意义重要．本工作利用便于对微放电 型的非平衡态交流气体放电，运行过程为准连续的 进行光学测量的水电极介质阻挡放电装置，研究了 瞬态过程．其实验装置通常是由两个平行板电极组 大气压条件下氩气介质阻挡放电中微放电通道中的 成，其中两个电极中至少有一个被电介质层所覆盖， 电子激发温度在放电期间的时间演化．结果表明，在 当两极之间加上交流高压时，就可在放电气隙间形 微放电通道中，电子激发温度范围在0．1—0．5eV之 成放电．由于DBD可以工作在大气压或更高气压条 间．在放电期间，它并不是一个恒定值，而是随时间 件下，是产生大气压非平衡态等离子体的一种可靠、 变化的．本工作结果对深入研究DBD动力学过程及 经济的方法，被广泛应用于臭氧合成、聚合物表面改 其在信息处理等领域的应用具有重要意义． 性、等离子体化学气相沉积、CO，激光器、污染物控 制、大功率准分子紫外及真空紫外光源以及平面等 2．实验装置与实验方法 离子体显示技术等领域¨o．目前大部分的工业应用 中，DBD工作在流光模式，即放电由大量的微放电 实验装置如图1所示．长度为80ram的有机玻 通道(单丝)组成，表现为复杂的时空分布，并且几乎 璃管中装满普通自来水，两端是厚度为1．5mm的玻 所有的反应动力学过程都发生在微放电通道 璃片，兼作电介质层．直径为47mm的环形电极分别 内¨“1．因此需要对DBD微放电通道中等离子体参浸入水中并与高压电源HV两极相接，从而水可以 量的时空演变进行研究，以提高所需反应产物的产 充当水电极．放电气隙间距d用螺旋测微计调节 额和转换效率．很多文献报道了单丝的一些特性，如 在文献[7]中研究了单丝的电荷转移和紫外发射光 育厅博士基金(批准号：B2001112)，河北省自然科学基金(批准号：A2004000086)资助的课题． 十E-mail：Donglf@mail．hbu．edu．ca 万方数据